搜展位
搜全站
上海艾尧科学仪器有限公司
关注
已关注
金牌8年
工商信息已核实
工商信息已通过人工核实，
校验时间：2022年09月
校验时间：2022年09月
400-616-7676转1611
仪器信息网认证电话，请放心拨打
收藏
对比
分享
核心参数
清洗方法： 湿法清洗
设备类型： 单晶圆清洗
晶圆尺寸： 12寸向下兼容
相关技术： 单片清洗
标签：
Osiris湿法清洗设备
OsirisCHEMIXX CMP
进口湿法清洗设备
产品介绍
简介
CHEMIXX CMP 30pm是一款专为晶圆双面清洗设计的紧凑型独立系统，适用于空间有限的环境。它具备4路化学液清洗、兆声清洗、PVA刷洗及去离子水冲洗等功能，能够高效清洁300mm晶圆。该设备还配备手动去离子水枪和可加热的化学液供应系统，并支持多种工艺参数调整，确保清洗效果最佳。
产品简介
CHEMIXX CMP 30pm是一款专门为晶圆双面清洗设计的系统，独立系统，占地面积小，非常适合有限的空间。具有4路化学液清洗，兆声清洗，PVA刷洗，去离子水冲洗等清洗模块，对晶圆有超强的清洗能力。
产品特色
÷ 晶圆最大 300mm PVA
÷ 双面清洗双面刷洗
÷ PVA双面刷洗
÷ 支持4路化学液清洗，包括氨水与SCI
÷ 工作台含驱动组件，用于晶圆低速旋转（50-100 rpm）
÷ 化学清洗臂含 4 路化学液
÷ 具有去离子水和稀释氨分配的水坑喷嘴
÷ 具有去离子水的 BSR（背面冲洗）喷嘴
÷ 具有带有流通孔的工艺室
÷ 标配三种不同化学品供应系统
÷ 工艺室外的手动去离子水枪。
÷ 化学液可加热，最高可达 60°C（最高85°C ）
÷ 外部可更换化学液
÷ 支持兆声清洗
÷ 支持高压等离子水冲洗
技术数据
÷ 衬底尺寸: ?200 mm (?8 inch) 或 ?300 mm (?12 inch)
÷ 电机转速: 最大 3.000 rpm, 步长 1rpm
÷ 电机加速: 1 至 999.9 秒，步长 0.1 s
÷ 工艺腔室: 由 PP 白色制成（可选 PVDF)
问商家
德国Osiris晶圆CMP后清洗机多少钱一台？
有OsirisCHEMIXX CMP说明书吗？
未知地区有经销商吗？
Osiris湿法清洗设备可以应用在哪些领域？
德国Osiris晶圆CMP后清洗机是国产还是进口的？
介绍下OsirisCHEMIXX CMP的工作原理
未知地区的销售电话是多少？
有德国Osiris晶圆CMP后清洗机的详细技术参数吗？
售后服务
保修期：
1年
是否可延长保修期：
是
现场技术咨询：
有
免费培训：
有
免费仪器保养：
6月1次
保内维修承诺：
免费维修更换零件
报修承诺：
48小时内响应
相关仪器
更多
电话
联系方式
上海艾尧科学仪器有限公司
公司地址
浦东新区建韵路500号
客服电话
400-616-7676转1611
产品小贴士
德国Osiris晶圆CMP后清洗机CHEMIXX CMP由上海艾尧科学仪器有限公司提供，产地为德国，属于进口湿法清洗设备，符合多项国家和国际分析标准， 广泛应用于电子/电气、半导体等领域，德国Osiris晶圆CMP后清洗机CHEMIXX CMP凭借其创新性与实用性，在湿法清洗设备用户中获得广泛关注。
根据艾尧仪器官方产品资料显示：德国Osiris晶圆CMP后清洗机CHEMIXX CMP的清洗方法为湿法清洗，设备类型为单晶圆清洗，晶圆尺寸为12寸向下兼容，相关技术为单片清洗，德国Osiris晶圆CMP后清洗机CHEMIXX CMP的价格为面议，具体型号是CHEMIXX CMP，品牌为Osiris。
客户服务热线：400-616-7676,1611（售前/售后支持）
官方链接：https://www.instrument.com.cn/netshow/SH104306/C495326.htm
来源：上海艾尧科学仪器有限公司
推荐产品
供应产品
相关品类
信息仅用于厂商与您联系，请放心填写
联系方式：
公司名称： 上海艾尧科学仪器有限公司
公司地址： 浦东新区建韵路500号 联系人： 张经理 13818193473 邮编： 201318 联系电话： 400-616-7676转1611
主营产品：
友情链接：
仪器信息网APP
展位手机站