Onto晶圆碳氧含量测量机台

Onto Innovation公司Element™ 系列半导体FTIR傅里叶变换红外光谱仪

市场上唯一一款将透射和反射技术独特结合的量测工具。该系统是介电层监控的行业标准。

Element^TM系统是晶圆供应商进行碳氧含量测定、高速杂质mapping和外延膜厚度测量的计量工具。

它是市场上唯一一款将透射和反射技术独特结合的机台。

应用领域：

Epi layer thickness  外延层厚度

Interstitial oxygen and substitutional carbon  间隙氧和取代碳含量

BPSG – boron and phosphorus content of BPSG layers   硼磷硅玻璃中硼和磷的含量

FSG – Fluorine content of FSG  氟化硅玻璃中氟的含量

SiN –  Measures hydrogen in silicon nitride films  氮化硅薄膜中的氢含量

HSQ – Hydroxyl and hydrogen content in oxides SOG, FOX  氧化物膜中的羟基和氢含量

SiON – Oxygen, nitrogen and hydrogen in SiON  氮氧硅薄膜中氧、氮、氢的含量

SiCN – Carbon in SiCN  碳氮硅膜中的碳含量

SiOC – Carbon in SiOC  碳氧硅膜中的碳含量

Oxygen dose – Measurement of oxygen implant dose at SIMOX process  氧气的注入量

Oxygen precipitate – Measurement of oxygen precipitates in Si substrates  硅衬底中的氧沉淀