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上海艾尧科学仪器有限公司
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校验时间：2022年09月
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核心参数
最小线宽： 5nm
电子束直径： 1.7nm
束流电压范围： 125kv
标签：
ELIONIX INC.电子束曝光
ELIONIX INC.ELS-F125
进口电子束曝光
产品介绍
简介
Elionix推出的ELS-F125/F100/HS50系列电子束曝光系统，采用ZrO/W热场发射枪，具备超高书写精度和高通量特性，可用于加工sub-10nm精细结构。ELS-F125可在125kV下实现5nm线宽精度，而ELS-F100和ELS-HS50分别在更低电压下提供高分辨率图形曝光。该系统适用于纳米器件、光学器件及复杂精细结构的光刻掩模板制造。
品牌：Elionix
型号：ELS-F125/F100/HS50
电子束曝光，电子束直写，电子束光刻
用途：利用电子束在抗蚀剂上书写纳米级图案，通过ELB设备曝光和显影，可用于加工sub-10nm的精细结构。
一、简介
ELS-F125是Elionix推出的世界上最早的加速电压高达125KV的电子束曝光系统之一，其可加工线宽下限为5nm的精细图形。(以下参数基于ELS-F125)
ELS-F125具有以下优点：
l 超高书写精度
- 5 nm 线宽精度 @ 125 kV
- 1.7 nm 电子束直径&邻近效应最小化 @ 125 kV
l 高通量、均匀性好
- 超大视野书写:500um视场下10 nm线宽
- 高束流下电子束直径依然很小，高通量而不影响分辨率，2 nm 电子束直径@ 1 nA
l 界面用户友好
基于Windows系统的CAD和SEM界面:
-简单易用的图案设计功能
-易于控制的电子束条件
二、主要功能
l 主要应用
纳米器件的微结构
集成光学器件，如光栅，光子晶体等
NEMS结构，复杂精细结构
光刻掩模板，压印模板
l 技术能力
型号 | ELS-F125 | ELS-F100 | ELS-HS50 |
电子枪 | ZrO/W 热场发射枪 | ZrO/W 热场发射枪 | ZrO/W 热场发射枪 |
加速电压 | 125 kV, 75 kV, 25 kV | 100 kV, 50 kV, 25 kV | 50 kV, 20 kV |
最小束流直径 | Φ 1.7 nm (@ 125 kV) | Φ 1.8 nm (@ 100 kV) | Φ 2.8nm (@ 50 kV,1 nA) |
最小线宽 | 5 nm or less (@125 kV) | 6 nm or less (@100 kV) | 20 nm (@ 50 kV, 2 nA) |
电子束束流 | 5 pA to 100 nA | 20 pA to 100 nA | 1 nA to 1 μA |
视场范围 | Max. 3,000 μm ｘ 3,000 μm | Max. 3,000 μm ｘ 3,000 μm | Max. 3,000 μm ｘ 3,000 μm |
Min. 100 μm ｘ 100 μm | Min. 100 μm ｘ 100 μm | Min. 100 μm ｘ 100 μm | |
束流定位 | Max. 1,000,000 ｘ 1,000,000 (20bit DAC) | Max. 1,000,000 ｘ 1,000,000 (20bit DAC) | Max. 1,000,000 ｘ 1,000,000 (20bit DAC) |
束流定位分辨率 | Min. 0.1 nm | Min. 0.1 nm | Min. 0.1 nm |
大样品尺寸 | 8" wafer or 7" square mask | 8" wafer or 7" square mask | 8" wafer or 7" square mask |
三、应用
问商家
日本Elionix电子束曝光机多少钱一台？
有ELIONIX INC.ELS-F125说明书吗？
未知地区有经销商吗？
ELIONIX INC.电子束曝光可以应用在哪些领域？
日本Elionix电子束曝光机是国产还是进口的？
介绍下ELIONIX INC.ELS-F125的工作原理
未知地区的销售电话是多少？
有日本Elionix电子束曝光机的详细技术参数吗？
售后服务
保修期：
1年
是否可延长保修期：
是
现场技术咨询：
有
免费培训：
有
免费仪器保养：
6月1次
保内维修承诺：
免费维修更换零件
报修承诺：
48小时内响应
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联系方式
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浦东新区建韵路500号
客服电话
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产品小贴士
ELIONIX INC.日本Elionix电子束曝光机ELS-F125由上海艾尧科学仪器有限公司提供，产地为日本，属于进口电子束曝光，符合多项国家和国际分析标准， 广泛应用于电子/电气、半导体等领域，ELIONIX INC.日本Elionix电子束曝光机ELS-F125凭借其创新性与实用性，在电子束曝光用户中获得广泛关注。
据仪器信息网显示：该仪器已通过“仪器优选”认证，在产品性能、服务能力等维度表现优异，入选电子束曝光近30天热度榜。
根据艾尧仪器官方产品资料显示：ELIONIX INC.日本Elionix电子束曝光机ELS-F125的最小线宽为5nm，电子束直径为1.7nm，束流电压范围为125kv，ELIONIX INC.日本Elionix电子束曝光机ELS-F125的价格为面议，具体型号是ELS-F125，品牌为ELIONIX INC.。
客户服务热线：400-616-7676,1611（售前/售后支持）
官方链接：https://www.instrument.com.cn/netshow/SH104306/C495339.htm
来源：上海艾尧科学仪器有限公司
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