半导体在线残余气体分析仪（气体质谱仪）

在半导体制备过程中，各种工艺涉及的气体种类繁多。其中气体主要包括两大类：一类是参与化学反应的过程气体，如硅烷、磷烷、砷烷、氨气、氯气、三氟化氮等；另一类是用于创造或维持特定环境的惰性气体与载气，如高纯氮气、氩气、氦气等。

这些气体的纯度要求极高，杂质含量通常需要控制在十亿分之一（ppb）甚至万亿分之一的级别。他们就像血液一样，保证了整个产线的质量与成品率。对这些气体的纯度、成分浓度以及工艺尾气中的有害物质进行实时、精确的监测与分析，则是残余气体分析仪的核心任务。

残余气体分析仪（下文简称 RGA, Residual Gas Analyzer）。在半导体工艺中，它经常被用来检测真空系统中的残余气体，覆盖半导体制造过程的多种检测需求。其核心在于质谱分析技术，通过电离气体分子并测量其质量-电荷比，从而精确识别并测量样品中的不同气体成分。

RGA 在半导体制造中的应用场景 

气体分析技术在半导体制造中的应用主要体现在以下几个方面：

1、超高纯度电子特气在线分析

2、工艺腔室洁净度验证

3、尾气排放的安全监测

4、管道系统的完整性检漏

5、设备与材料的气体分析

RGA6500型半导体在线气体分析质谱仪，采用全金属不锈钢材质作为质谱腔体，腔体最高温度可达200℃，配备无油隔膜泵与高性能涡轮分子泵提供真空环境，配备全量程真空规支持实时掌握仪器真空状态。

样品可通过外置最高350度加热套的不锈钢管或石英毛细管实现进样，气体样品通过开放式电子轰击离子源进行电离，全金属双曲面四极杆质量筛选，最后在电子倍增器处实现信号放大输出。