EVG610 单面/双面光刻机（设备资料）

2020-01-15 15:08

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资料摘要：

EVG610 是一款非常灵活的、适用于研发和小批量试产的对准系统，可处理最大200mm之内的各种规格的晶片。EVG610 支持各种标准的光刻工艺，例如：真空、软、硬接触和接近曝光；也支持其他特殊的应用，如键合对准、纳米压印光刻、微接触印刷等。EVG610 系统中的工具更换非常简便快捷，每次更换都可在几分钟之内完成，而不需要专门的工程人员和培训，非常适合大学、研究所的科研实验和小批量生产。

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