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上海艾尧科学仪器有限公司
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校验时间：2022年09月
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Park 原子力掩模修补系统
Park 原子力NX-Mask
进口掩模修补系统
产品介绍
简介
Park NX-Mask是一款基于原子力显微镜技术的高端EUV掩膜修复系统，具备从缺陷检测到修复再到验证的一站式解决方案。该系统采用纳米机械AFM技术，能够安全可靠地处理锡颗粒等碎片及复杂图案缺陷，避免对光罩表面造成任何损害。它兼容双EUV光罩盒，具有纳米级分辨率和修复精度，并且在同一系统内即可完成检测、修复和验证功能，提供经济高效的高品质掩膜修复服务。
Park NX-Mask
基于AFM的 EUV 掩膜修复及其他性能
Park NX-Mask是一款用于修复高端EUV掩膜的创新型机台。Park NX-Mask 采用最新的原子力显微镜技术，配有新一代的光罩修复系统，用于解决随着器件尺寸缩小和光掩膜复杂性增加带来的新式挑战。从自动缺陷检测到缺陷修复再到修复验证的一站式解决方案为您提供了前所未有的修复效率，让您的研究工作事半功倍。
- 无任何类型的缺陷损坏和修复风险
- 兼容双EUV光罩盒
- 用于定位缺陷和修复后验证的多效合一型解决方案
使用AFM探针安全可靠地修复缺陷
来自 EUV 光源的锡 (Sn) 颗粒等碎片可能会落到光罩上并降低其光反射率，导致设备不能进行精确地压印。Park NX-Mask 利用其成熟的纳米机械 AFM 技术，以绝对安全可靠的方式发现并去除外来颗粒、修正复杂的图案缺陷。与传统的光罩修复系统相比，Park NX-Mask能在不造成任何损坏或扰乱光罩表面的情况下精准执行修复。
安全性能
- 无光束静电
- 无化学使用
- 无真空要求
卓越性能
- 纳米级分辨率和修复精度
- 在同一系统可实现检测扫描，到修复，到验证的功能
- 经济型高品质低成本
用于自动和无缝修复的在线生产
Park NX-Mask提供最优的解决方案，支持在线生产的双EUV Dual pod。
问商家
Park NX-Mask光掩模修复原子力显微镜多少钱一台？
有Park 原子力NX-Mask说明书吗？
未知地区有经销商吗？
Park 原子力掩模修补系统可以应用在哪些领域？
Park NX-Mask光掩模修复原子力显微镜是国产还是进口的？
介绍下Park 原子力NX-Mask的工作原理
未知地区的销售电话是多少？
有Park NX-Mask光掩模修复原子力显微镜的详细技术参数吗？
售后服务
保修期：
1年
是否可延长保修期：
是
现场技术咨询：
有
免费培训：
有
免费仪器保养：
6月1次
保内维修承诺：
免费维修更换零件
报修承诺：
48小时内响应
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联系方式
上海艾尧科学仪器有限公司
公司地址
浦东新区建韵路500号
客服电话
400-616-7676转1611
产品小贴士
Park 原子力Park NX-Mask光掩模修复原子力显微镜由上海艾尧科学仪器有限公司提供，产地为韩国，属于进口掩模修补系统，符合多项国家和国际分析标准， 广泛应用于电子/电气、半导体等领域，Park 原子力Park NX-Mask光掩模修复原子力显微镜凭借其创新性与实用性，在掩模修补系统用户中获得广泛关注。
根据艾尧仪器官方产品资料显示：Park 原子力Park NX-Mask光掩模修复原子力显微镜的价格为面议，具体型号是NX-Mask，品牌为Park 原子力。
客户服务热线：400-616-7676,1611（售前/售后支持）
官方链接：https://www.instrument.com.cn/netshow/SH104306/C495311.htm
来源：上海艾尧科学仪器有限公司
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公司名称： 上海艾尧科学仪器有限公司
公司地址： 浦东新区建韵路500号 联系人： 张经理 13818193473 邮编： 201318 联系电话： 400-616-7676转1611
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