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上海艾尧科学仪器有限公司
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校验时间：2022年09月
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核心参数
仪器类别： 光学图形化缺陷检测设备
主要应用： 晶圆制程监控
晶圆尺寸： 12英寸向下兼容
标签：
Park 原子力晶圆缺陷光学检测设备
Park 原子力NX-Hybrid WLI
进口晶圆缺陷光学检测设备
产品介绍
简介
Park NX-Hybrid WLI 是一款集成白光干涉仪和原子力显微镜的全自动系统，专为200mm至300mm晶圆的半导体计量设计。该系统结合了WLI的大面积高速成像能力和AFM的纳米级高分辨率计量优势，适用于研发、过程控制和制造质量保证等场景，提供从大面积扫描到纳米级计量的全面解决方案，同时节省成本和设备空间。其亚埃级精度使其成为半导体元件计量的理想选择。
Park NX-Hybrid WLI
AFM 和 WLI 技术集成系统
用于 200mm至 300mm 晶圆的全自动工业化 AFM-WLI 系统是业内最快捷、最准确、最通用的半导体计量工具。
Park NX-Hybrid WLI 是迄今为止首个内置白光干涉仪轮廓测量的 AFM 系统，可用于半导体元件的研发计量、过程控制和制造质量保证。
Park NX-Hybrid WLI 使用 WLI 模块在相当大的区域提供高吞吐量成像，并使用 AFM 在感兴趣的区域提供亚埃高度分辨率的纳米尺度计量。
Park NX-Hybrid WLI 提供了从大面积扫描到纳米级计量的终极解决方案，适用于各种应用，包括质量保证、自动缺陷检测、前端半导体工艺控制和后端先进封装。
Park NX-Hybrid WLI 无缝集成了自动化工业 AFM 系统和 WLI 轮廓仪。与前两种单独的工具解决方案相比，它能有效地节约成本、减少设备占用空间并能提供全新的最佳计量解决方案。
Park NX-Hybrid WLI可测量亚埃级精度的台阶高度
WLI 和 AFM
半导体计量的两种最佳互补技术
WLI
白光干涉测量是一种光学技术，具有成像区域广、速度快、吞吐量高的优点。
AFM
原子力显微镜是一种扫描探针技术，对所有样品材料（包括透明材料）都能提供最精确的纳米级分辨率测量。
问商家
Park NX-Hybrid WLI白光干涉原子力显微镜多少钱一台？
有Park 原子力NX-Hybrid WLI说明书吗？
未知地区有经销商吗？
Park 原子力晶圆缺陷光学检测设备可以应用在哪些领域？
Park NX-Hybrid WLI白光干涉原子力显微镜是国产还是进口的？
介绍下Park 原子力NX-Hybrid WLI的工作原理
未知地区的销售电话是多少？
有Park NX-Hybrid WLI白光干涉原子力显微镜的详细技术参数吗？
售后服务
保修期：
1年
是否可延长保修期：
是
现场技术咨询：
有
免费培训：
有
免费仪器保养：
6月1次
保内维修承诺：
免费维修更换零件
报修承诺：
48小时内响应
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联系方式
上海艾尧科学仪器有限公司
公司地址
浦东新区建韵路500号
客服电话
400-616-7676转1611
产品小贴士
Park 原子力Park NX-Hybrid WLI白光干涉原子力显微镜由上海艾尧科学仪器有限公司提供，产地为韩国，属于进口晶圆缺陷光学检测设备，符合多项国家和国际分析标准， 广泛应用于医疗/健康、生物研究、电子/电气、材料、石油化工、航空航天、半导体等领域，Park 原子力Park NX-Hybrid WLI白光干涉原子力显微镜凭借其创新性与实用性，在晶圆缺陷光学检测设备用户中获得广泛关注。
根据艾尧仪器官方产品资料显示：Park 原子力Park NX-Hybrid WLI白光干涉原子力显微镜的仪器类别为光学图形化缺陷检测设备，主要应用为晶圆制程监控，晶圆尺寸为12英寸向下兼容，Park 原子力Park NX-Hybrid WLI白光干涉原子力显微镜的价格为面议，具体型号是NX-Hybrid WLI，品牌为Park 原子力。
在同系列产品中，您还可以选择以下型号:
产品名称 |
品牌 |
型号 |
产地类型 |
价格 |
|---|---|---|---|---|
|
Onto晶圆表面缺陷检测仪
|
儒米娜 |
PrimaScan |
进口 |
面议 |
|
荷兰Fastmicro晶圆表面颗粒检测仪
|
Fastmicro |
FM-PDS |
进口 |
面议 |
|
Candela光学表面缺陷检测仪
|
KLA |
Candela |
进口 |
面议 |
客户服务热线：400-616-7676,1611（售前/售后支持）
官方链接：https://www.instrument.com.cn/netshow/SH104306/C310309.htm
来源：上海艾尧科学仪器有限公司
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公司名称： 上海艾尧科学仪器有限公司
公司地址： 浦东新区建韵路500号 联系人： 张经理 13818193473 邮编： 201318 联系电话： 400-616-7676转1611
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