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核心参数
仪器种类： 通用电位滴定仪
应用范围： 通用型
产地类别： 进口
测量范围： 温度值：~93℃
电计示值精度： ±0.2%相对误差
电计示值分辨率： 显示值的±0.2%
滴定精度： ±2.0%相对误差
滴定分辨率： 显示值的±2.0%
SemiChem APMi 200 在线浓度监测仪
SemiChem APMi 200 在线浓度监测仪/自动电位滴定仪是设计和生产用于半导体制造工艺中的化学机械平坦化（CMP）浆料和配方清洁化学品的高精度分析仪器。我们的技术旨在确保复杂混合化学品的精确一致性，并在 CMP和配方清洁工艺中实现高产量。 我们的 SemiChem Advanced Process Monitor （APM）是集自动取样、分析和报告关键过程的定 量化学浓度的化学监测系统。全面的在线化学监 测可实时校正浆料成分，从而稳定控制工艺生产 条件。该系统可提供分类化学浓度数据。当立即 显现时，可以快速纠正可能对产品质量产生负面 影响的变化，有助于满足更高产品产量的要求。
应用领域
在全球范围内，我们安装了近3000套SemiChem APM系统，用于控制金属 CMP 浓度。它是 控制CMP过氧化物的可靠的中心工具，并被证明 在微电子环境中的所有湿化学应用中都具有卓 越的性能，包括：
·铜，钨，阻挡层和金属CMP ·制定清洁 ·DSP+ ·湿法蚀刻，氮化物蚀刻 ·平底蚀刻，食人鱼蚀刻 ·高频 ·废水
功能与特点
经验证的标准电化学技术：提供行业精确的监控，以保 证过程化学成分和完整性；提供一流的化学浓度数据， 使浆料/化学分配系统能够 提供准确的化学浓度
在线的，接近实时检测的系统：检测挥发性化学物质的工艺偏差，防止产品质量损坏；将实验室技术过渡到在线， 实现快速准确的在线控制
坚固耐用的工业设计：维持至少8500小时平均无故障工作时间；可经受严峻的工业环境
规格
| 分析方法 | 电位测定法，标准加成法，光度测定法 |
| 电位测量的准确性* | 显示值的±0.2% |
| 标准添加的准确性* | 显示值的±2.0% |
| 电位测量精度* | ±0.2%相对误差 |
| 标准添加精度* | ±2.0%相对误差 |
| 测量时间 | >5分钟/次（取决于应用程序） |
| 校准间隔 | 启动时** |
| 样品消耗 | <5 mL/次 |
| 进样量 | 0.05-5 mL（取决于应用） |
| 进样温度 | 最高93°C（200°F） |
| 耗水量 | <1000 mL/分析 |
| 样品进样/排样 | <207 kPa（30 psi），0.5 L/min |
| 1/4" OD扩口接头，1" FPT安全壳联轴器 | |
| 去离子水 | 138至276 kPa（20至40 psi） |
| 2.0升/分钟 | |
| 外径 1/4" 扩口接头 | |
| CDA | 414-552 kPa（60-80 psi） |
| 1/4" 外径快速接头 | |
| 排水 | 工艺：3/4“NPT重力排水管 机柜：1/2“NPT重力 |
| 电源 | 110/220 VAC，50/60 Hz，1/0.5 A现场可切换 |
| 废气 | 外径1 7/8" @ 17 CFM |
| 标准功能 | 可选功能 |
| ·四个4-20 mA模拟输出 | ·多个采样点 |
| ·八个可编程继电器 | ·额外的5 mL数字滴定管 |
| ·以太网和RS232串行 | ·附加传感器 |
| ·彩色触摸屏 | ·安全联锁装置 |
| ·单个测量单元 | ·试剂微量检测 |
| ·综合试剂储存 | |
| ·单个采样点 | |
| ·一个5 mL数字滴定管 | |
| ·多传感器输入 |
尺寸
用户单位
采购时间
采购数量
entegris
2022/04/27
12
应特格自动电位滴定SemiChem APMi 200的工作原理介绍
自动电位滴定SemiChem APMi 200的使用方法?
应特格SemiChem APMi 200多少钱一台?
自动电位滴定SemiChem APMi 200可以检测什么？
自动电位滴定SemiChem APMi 200使用的注意事项？
应特格SemiChem APMi 200的说明书有吗？
应特格自动电位滴定SemiChem APMi 200的操作规程有吗？
应特格自动电位滴定SemiChem APMi 200报价含票含运吗？
应特格SemiChem APMi 200有现货吗？
更多
TN-AccuSizer SPOS系统和Nicomp DLS粒度仪安装要求
本技术说明旨在帮助客户为安装新的 AccuSizer® SPOS 或 Nicomp® DLS 实验室仪器提前做好准备。本文档中介绍的型号包括 AccuSizer SIS、AccuSizer AD、AccuSizer APS 和 Nicomp 系统。客户通常需提供计算机来运行这些仪器，连接打印机用于打印报告。正确安装软件需要完整的管理权限。所有仪器的安装和操作都需要经过过滤的去离子水。水的清洁度至关重要，如果背景颗粒计数过高，可能会使得安装不成功或延缓安装进度。
半导体
2023/12/07
企业名称
上海奥法美嘉生物科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91310115560134824G
成立日期
2010-08-09
注册资本
人民币100.0000万元整
经营范围
从事生物科技、医药科技、计算机科技、系统集成科技领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务,仪器仪表、化工产品(除危险品)及中间体的研发,仪器仪表、电子产品的设计、生产、制造、维修服务,设备租赁,计算机维修,化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品.烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、化妆品、日用品、五金交电、电气设备、机械设备、电子产品、计算机、仪器仪表、实验室仪器的销售,房屋租赁,从事货物及技术的进出口业务,商务信息咨询,质检技术服务,认证服务.(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动]
上海奥法美嘉生物科技有限公司
公司地址
上海市闵行区新骏环路588号23幢402室
客服电话
公司名称： 上海奥法美嘉生物科技有限公司
公司地址： 上海市闵行区新骏环路588号23幢402室 联系人： 销售部 邮编： 201114 联系电话： 400-801-5771
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