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EVG610单面/双面光刻机
一、 简介
EVG公司成立于1980年,公司总部和制造厂位于奥地利,在美国、日本和台湾设有分公司,并在其他各地设有销售代理及售后服务部,产品和服务遍及世界各地。
EVG公司是一家致力于半导体制造设备的全球供应商,其丰富的产品系列包括:涂胶和喷胶/显影机/热板/冷板、掩模版光刻/键合对准系统、基片热压键合/低温等离子键合系统、基片清洗机、基片检测系统、SOI 基片键合系统、基片临时键合/分离系统、纳米压印系统。
目前已有数千台设备安装在世界各地,被广泛地应用于MEMS微机电系统/微流体器件,SOI基片制造,3D封装,纳米压印,化合物半导体器件和功率器件等领域。
EVG610是一款非常灵活的、适用于研发和小批量试产的对准系统,可处理200mm之内的各种规格的晶片。EVG610支持各种标准的光刻工艺,例如:真空、软、硬接触和接近曝光;也支持其他特殊的应用,如键合对准、纳米压印光刻、微接触印刷等。EVG610系统中的工具更换非常简便快捷,每次更换都可在几分钟之内完成,而不需要专门的工程人员和培训,非常适合大学、研究所的科研实验和小批量生产。
二、应用范围
EVG光刻机主要应用于半导体光电器件、功率器件、微波器件及微电子机械系统(MEMS)、硅片凸点、化合物半导体等领域,涵盖了微纳电子领域微米或亚微米级线条器件的图形光刻应用。
三、主要特点
u 支持背面对准光刻和键合对准工艺
u 自动的微米计控制曝光间距
u 自动契型补偿系统
u 优异的全局光强均匀度
u 免维护单独气浮工作台
u 最小化的占地面积
u Windows图形化用户界面
u 完善的多用户管理(用户权限、界面语言、菜单和工艺控制)
四、技术参数
设备咨询电话:
欢迎您的来电咨询!
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 技术人员现场培训
免费仪器保养: 2个月1次
保内维修承诺: 软件免费重装,硬件维修
报修承诺: 24小时到达
EVG610 是一款非常灵活的、适用于研发和小批量试产的对准系统,可处理最大200mm之内的各种规格的晶片。EVG610 支持各种标准的光刻工艺,例如:真空、软、硬接触和接近曝光;也支持其他特殊的应用,如键合对准、纳米压印光刻、微接触印刷等。EVG610 系统中的工具更换非常简便快捷,每次更换都可在几分钟之内完成,而不需要专门的工程人员和培训,非常适合大学、研究所的科研实验和小批量生产。
亚科电子的合作伙伴EVG公司成立于1980年,公司总部和制造厂位于奥地利,是一家致力于半导体设备制造的全球供应商。 产品系列包括:涂胶和喷胶/显影机/热板/冷板、光刻/键合对准系统、热压键合/低温等离子键合系统、清洗机、检测系统、SOI 键合系统、临时键合/分离系统、纳米压印系统。 目前已有数千台EVG设备安装在世界各地,被广泛地应用于MEMS微机电系统/微流体器件、SOI基片制造、3D封装、纳米压印、化合物半导体器件、功率器件和光电显示等领域。
EVG其他半导体检测仪EVG610的工作原理介绍
其他半导体检测仪EVG610的使用方法?
EVGEVG610多少钱一台?
其他半导体检测仪EVG610可以检测什么?
其他半导体检测仪EVG610使用的注意事项?
EVGEVG610的说明书有吗?
EVG其他半导体检测仪EVG610的操作规程有吗?
EVG其他半导体检测仪EVG610报价含票含运吗?
EVGEVG610有现货吗?
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