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E-3500离子抛光仪
在截面样品制备中,常用的切片、机械抛光会对样品产生影响,不利于样品的观测。
日立新推出的E-3500采用离子抛光的方法,避免了样品的污染和变形,同时操作简易,是截面样品制备的理想工具。
项目 | 描述 |
气体 | 氩气 |
加速电压 | 0~6KV |
发射电流 | 0~999µA |
离子束直径 | 约40µm |
最大样品尺寸 | 20mm(宽)x 12mm(直径) x 5mm(高) |
样品台行程 | X±10mm ;Y±5mm |
真空泵 | 分子泵 26升/秒 ;机械泵 135升/分钟 |
台式设计
可处理样品达到镜面效果
离子束加工角度90°
离子源加速电压0~6KV可调
离子束
挡板
样品
最多添加5台