等离子清洗机PICO

Pico 等离子设备可以组合成不同的派生型，例如组合成模块系统。下面是能够与 Pico 等离子系统组合使用的最常见选装件的概览。Pico 系统主要应用于以下领域：

分析 (REM, TEM)，考古，汽车，研究和开发部门，半导体技术，小批量生产，塑料技术，医疗技术，微系统技术，传感技术，灭菌，纺织技术

1.基本装备：

    根据组件/选装件，外壳规格会有所不同

    腔室容积：根据具体版本 4 - 15 升

供电电源：台式设备为 230 V，立式设备为 400 V/3 相位

2.气体供给：针型阀，质量流量控制器 (MFC)

3.真空腔室：

    圆形不锈钢，带盖（约 ∅ 150 mm，长 320 mm 或长 600 mm）或

    矩形不锈钢，带铰链的门（约宽 160 mm x 高 160 mm x 深 325 mm 或 600 mm）

    矩形铝材，带铰链的门（约 ∅ 160 mm x 160 mm，长 325 mm 或长 600 mm）

    圆形石英玻璃 (UHP)，配有盖子或者带铰链的门（约直径130 mm，长 300mm或600 mm）

圆形硼硅玻璃 (UHP)，配有盖子或者带铰链的门（约直径130 mm，长 300 mm或600 mm）

4.装载件

产品支架（选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃

5.电极：单层或多层，RIE

6.控制系统

    半自动型

    Basic PC 控制系统 (Microsoft Windows CE)

Full PC 控制系统 (Windows 10 IoT)

7.压力测量：Pirani，电容式压力计（适用于腐蚀性气体版本）

8.计时器：数字

9.发生器

频率：    

40 kHz：功率 0 - 200 W；0 -1000 W

100 kHz：功率 500 W

80 kHz：功率 1000 W

13.56 MHz：功率  0 - 100 W；0 - 300 W

2.45 GHz：功率 0 - 300 W

所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型

10.真空泵

不同规格，来自不同制造商（根据需要配备活性炭过滤器）

11.其他选项

备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、法拉利笼、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM 样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项