KS-FT200/300 前道8/12寸涂胶显影机
KS-FT200/300 前道8/12寸涂胶显影机

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KS-FT200/300

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中国大陆

  • 银牌
  • 第4年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数
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KS-FT200/300 前道8/12寸涂胶显影机

KS-FT200/300系列堆叠式高产能前道涂胶显影机,晶圆前道28nm工艺节点及以上工艺制程,适用于ArFKrFI-LinePIBARCSOCSODSOG等多种材料涂覆显影工艺的机台。支持与光刻机联机作业。该系列机台通过各种行业认证,占地面积小、可靠性高、易于维护,满足各种功能芯片制程需求。


产品优势:

1. 堆叠式高产能架构,占地面积小
2. 可与光刻机联机,满足工厂自动化需求
3. 配备多段回吸的多腔体共用供胶系统,有效节省光刻胶的用量
4. 选配热板、WEEAOI等单元部件,满足更高标准工艺需求
5. 核心单元模块化设计,组合方式灵活多变

应用领域:

 逻辑电路

 CMOS射频电路

 功率器件

 MEMS系统级芯片

 闪存内存

 CIS

 驱动芯片

 OLED


售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 不限人次免费安装培训

免费仪器保养: 可根据客户使用程度制定仪器保养计划。

保内维修承诺: 非人为损坏,免费保修。

报修承诺: 24小时内进行响应,48小时内出解决方案。

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