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KS-FT200/300
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中国大陆
看了涂胶显影设备的用户又看了
KS-FT200/300 前道8/12寸涂胶显影机
KS-FT200/300系列堆叠式高产能前道涂胶显影机，晶圆前道28nm工艺节点及以上工艺制程，适用于ArF、KrF、I-Line、PI、BARC，SOC，SOD，SOG等多种材料涂覆显影工艺的机台。支持与光刻机联机作业。该系列机台通过各种行业认证，占地面积小、可靠性高、易于维护，满足各种功能芯片制程需求。
产品优势：
1. 堆叠式高产能架构，占地面积小
2. 可与光刻机联机，满足工厂自动化需求
3. 配备多段回吸的多腔体共用供胶系统，有效节省光刻胶的用量
4. 选配热板、WEE、AOI等单元部件，满足更高标准工艺需求
5. 核心单元模块化设计，组合方式灵活多变
应用领域：
l 逻辑电路
l CMOS射频电路
l 功率器件
l MEMS系统级芯片
l 闪存内存
l CIS
l 驱动芯片
l OLED等
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 不限人次免费安装培训
免费仪器保养: 可根据客户使用程度制定仪器保养计划。
保内维修承诺: 非人为损坏，免费保修。
报修承诺: 24小时内进行响应，48小时内出解决方案。
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涂胶显影设备KS-FT200/300的使用方法?
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