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核心参数
产地类别： 国产
应用领域： 逻辑电路 、 CMOS射频电路、 功率器件 、 MEMS系统级芯片、 闪存内存 、 CIS、 驱动芯片 OLED等
KS-FT200/300 前道8/12寸涂胶显影机
KS-FT200/300系列堆叠式高产能前道涂胶显影机，晶圆前道28nm工艺节点及以上工艺制程，适用于ArF、KrF、I-Line、PI、BARC，SOC，SOD，SOG等多种材料涂覆显影工艺的机台。支持与光刻机联机作业。该系列机台通过各种行业认证，占地面积小、可靠性高、易于维护，满足各种功能芯片制程需求。
产品优势：
1. 堆叠式高产能架构，占地面积小
2. 可与光刻机联机，满足工厂自动化需求
3. 配备多段回吸的多腔体共用供胶系统，有效节省光刻胶的用量
4. 选配热板、WEE、AOI等单元部件，满足更高标准工艺需求
5. 核心单元模块化设计，组合方式灵活多变
应用领域：
l 逻辑电路
l CMOS射频电路
l 功率器件
l MEMS系统级芯片
l 闪存内存
l CIS
l 驱动芯片
l OLED等
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企业名称
上海品测精密仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91310120MA1HLYJG3Q
成立日期
2017-01-09
注册资本
1000
经营范围
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