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核心参数
产地类别： 进口
应用领域： 半导体芯片、MEMS系统等
产品简介
UNIXX DB20 型晶圆显影机是一款针对8寸及以下尺寸晶圆的半自动系统，系统可集成显影，清洗，干燥等模块，同时可用于方片显影，尺寸150mm*150mm。
产品特色
1. 圆形晶圆可达 Ø200
2. 方形衬底可达 150 x 150
3. 防溅环自动升降
4. 具有 BSR 背部清洗功能
5. 配置低接触离心力卡盘
6. 可提供全自动系统
7. 手动装/卸
8. 适用所有半导体材料，如硅衬底、玻璃衬底、陶瓷衬底
9. 1x 输送臂，至多 6 条管路
10. 不同类型的喷嘴
11. 通过压力罐或泵系统供应化学液
12. 具有摆动效果的旋转电机
13. 不同化学液分离排放（1、2 或 3 向分离）
技术数据
1. 衬底尺寸: 可达 Ø200 mm 或 150 x 150 mm
2. 电机转速: 10.000 rpm，步长 1 rpm
3. 电机加速: 40.000 rpm/sec，步长 1 rpm/sec
4. 步进时间: 1 到 999.9 秒，步长 0.1 秒
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企业名称
上海品测精密仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91310120MA1HLYJG3Q
成立日期
2017-01-09
注册资本
1000
经营范围
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