德国Osiris晶圆EBR边缘去胶机

产品简介

UNIXX smartEBR 模块是一种新的方法，可以去除任何形状基材上的边珠。它可以配置溶剂或紫外光源。工艺外壳由不锈钢制成，并带有透明玻璃盖，用于手动装载和卸载基板。通过“Air-Beam Technology”喷嘴单元，为客户带来了显着的好处，例如更高的产量和更低的成本。该设备具有易于操作的用户界面，具有所有需要的功能，例如配方编程、服务通信和用户管理。所有必要的介质供应，如 CDA、N2、真空和去离子水都可以通过快速插入式连接连接并由软件控制。 

产品特色

÷ 手动装卸

÷ 衬底尺寸最大可达 ?200 mm 或 150 x 150 mm

÷ 适用于薄或非常厚的衬底 (从 0.2 到 15 mm)

÷ 广泛的衬底材料，如硅、碳化硅、玻璃、塑料、金属等。

÷ “Air-Beam Technology”喷嘴单元为客户提供了显着的好处，例如更高的产量和更低的成本。

÷ 不锈钢制成的高流量或低流量 EBR 喷嘴

÷ 通过高分辨率对齐模块自动校准衬底

÷ 介质流量可调节(可选：控制单元上的可编程配方点胶量)

÷ 提供不同的卡盘：真空或低接触卡盘或边缘夹持卡盘

系统设计:

÷ 工艺外壳由不锈钢制成，带有透明盖。

÷ 独立单或双底架:

- 由粉末涂层不锈钢制成的系统框架和外壳

- 可锁定的前门，用于存放溶剂和废液罐

- 易于访问的用于服务操作的控制单元

- 可调水平脚和运输轮

÷ 可作为台式模块使用

控制装置:

÷ 7 英寸彩色触摸屏作为用户终端

÷ 配方编辑器可编写、管理和配置

÷ X 或 X-Y 轴可编程边缘珠去除光刻胶单元*

÷ 有效的过程监控的实际可视化

÷ 配方、流程、日志文件的库函数（例如错误跟踪历史记录）

÷ 通过密码保护的服务访问进行用户管理

÷ 通过USB或内网连接更新和备份功能

*取决于衬底形状或尺寸

技术数据

通用

衬底尺寸: X轴最大可达 ?200 mm /? 8” 或 76 x 76 mm / 3 x 3 inch

X / Y轴最大可达 ?200 mm /? 8” 或 150 x 150 mm / 6 x 6 inch 电机

转速: 最大 600 转，以 1 转 步进可编程*

电机加速: 最大 1.000 rpm/s

smartEBR模块: 由不锈钢和透明可锁玻璃门制成

系统框架: 由粉末涂层不锈钢制成，带有 4 个可调节支脚

系统外壳: 由粉末涂层不锈钢制成

*取决于卡盘设计、衬底重量和负载

要求

电源: 400 (208) VAC / 3 相 / N / PE / 50(60) Hz / 16A

真空: -0.8 巴 （-80KPa）, 管 OD ?10 mm

CDA: 8 巴（800KPa）, 管 OD ?10 mm

氮（可选）: 4.5 巴（450KPa）

排气过程: 1 x OD ?110 mm, 60 - 90m3/h

排气容器: 1 x OD ?110 mm, 20 - 40m3/h

排水: 到带有高液位传感器的废物罐或到设施排水管