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高速映射测量可实现每分钟 1000 个点以上的测量。此外，通过更改测量模式，可以在高清模式下以20μm方形或更小的水平分辨率进行测量。可以用一个单元测量从整个晶片分布到微小区域分布。
◆分钟内完成晶圆全厚几度测量 ◆每分钟 1000 点以上（广域模式）
◆微区测量 ◆方形以下、毎分1000 点以上
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 有
免费培训: 1人
免费仪器保养: 无
保内维修承诺: 免费维护
报修承诺: 电话联系后尽快安排日程
Photonic Lattice椭偏仪ME系列的工作原理介绍
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