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核心参数
产地类别： 进口
光谱范围： 半导体激光（波长 636 nm)
光斑尺寸： □0.5mm（大区域测量模式）
入射角： 70度
测量速度： 5,000个点/min
单次测量时间： 8s
样品尺寸： 最大8英寸晶圆（选配：12英寸）
光谱测试间隔： 1
膜厚测量准确度： 膜厚0.1 nm；折射率 0.001
测量重复性： 膜厚0.1 nm；折射率 0.001
直射测量准确度： 膜厚0.1 nm；折射率 0.001
高速映射测量可实现每分钟 1000 个点以上的测量。此外，通过更改测量模式，可以在高清模式下以20μm方形或更小的水平分辨率进行测量。可以用一个单元测量从整个晶片分布到微小区域分布。
◆分钟内完成晶圆全厚几度测量 ◆每分钟 1000 点以上（广域模式）
◆微区测量 ◆方形以下、毎分1000 点以上
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企业名称
深圳菱光社贸易有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91440300MA5EJT6L1M
成立日期
2017-06-02
注册资本
200
经营范围
深圳菱光社贸易有限公司
公司地址
深圳市福田区福田街道岗厦社区彩田路3069号星河世纪A栋1120A
客服电话
公司名称： 深圳菱光社贸易有限公司
公司地址： 深圳市福田区福田街道岗厦社区彩田路3069号星河世纪A栋1120A 联系人： 陈小姐 邮编： 518033 联系电话： 400-860-5168转4332
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