产地类别： 国产
靶材材质： Au,Ag,Cu,Ti,Cr,Pt,Pd,C,W靶等
靶材尺寸： 50mm
控制方式： 手动
样品仓尺寸： 直径250mm*高150mm
样品台尺寸： 50mm
溅射气体： Ar,N2或O2
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保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 仪器终身免费培训
免费仪器保养: 一年免费保养一次
保内维修承诺: 免费上门维修和技术指导，免费更换零配件
报修承诺: 1小时内响应，24-72小时到达客户现场（因区域而异）
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