产地类别: 进口
旋转速度: 最高10,000rpm
旋转精度: 1 rpm
最大加速度: 4.000 rpm / sec
基片直径: 直径最大为Ø200mm(Ø8英寸)圆片,或最大为150 x 150毫米(6 x 6英寸)方片
腔体直径: 设备尺寸450 x 510(650) x 425 mm
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是一款紧凑的旋涂,显影,清洁和干燥半自动系统,旨在为科学和研究领域的用户提供高效,安全和清洁的实验室系统。 该设备具有易于使用的界面和7英寸彩色触摸屏。 该软件包含程序菜单管理,例如编写,编辑,保存和加载。 服务区提供用于手臂和旋转板以及介质控制的设置选项。 还集成了可通过USB保存的软件更新功能以及日志文件和程序备份功能。
特点:
÷ 直驱无刷微调电机
÷ 全轴电机驱动且完全可编程
÷ 具有程序菜单管理功能的软件控制
÷ 带安全中断传感器的透明盖
÷ 旋转器盖传感器控制
÷ 通过触摸屏或按钮启动程序
÷ 7英寸彩色触摸屏PP制成的处理碗和台式外壳
÷ 外壳上的电源开关ON / OFF
÷ 配备标准的水坑喷嘴,通过水坑喷嘴注入溶剂
÷ 可拆卸处理碗和飞溅环,便于清洁
÷ 可处理圆形晶片,尺寸最大为?200mm(?8英寸)
÷ 可处理方形基板,尺寸最大为150 x 150毫米(6 x 6英寸)
÷ 标配最多安装3个介质管线/喷嘴(可选:最多5个介质管线/喷嘴)
÷ 可视真空控制仪
÷ 真空阀块和传感器的安全性由程序启动和系统运行来控制
÷ 含0.5 Itr的废液瓶
÷ 可选的带Z轴移动和PR分配系统的电动介质臂
÷ 可作为台式安装,也可做独立装置使用
÷ 简单且经济高效
÷ 专为研究所,实验室和基础研发而设计
应用于:旋涂,显影,清洁和干燥
产品参数:
可处理衬底尺寸:直径最大为?200mm(?8英寸)圆片,或最大为150 x 150毫米(6 x 6英寸)方片;
旋转速度:最高10,000rpm *,(以rpm步长为单位);
加速度:最高4.000 rpm / sec *;
处理时间:1至999,9sec,以0.1秒为步;
处理碗:可更换,聚丙烯(PP)材质
腔体:白色(PP)材质
固定晶圆片或衬底的装置:真空托盘;
电源:230(208)VAC / 1Phase/ N / PE / 50(60)Hz
真空:-0.8 bar / -600 Torr,管外直径6 mm
排气-过程:1x外径38毫米,约 30立方米/小时
氮气(可选):4土0.2 bar,PFA管外径6 mm
CDA(可选):8土2bar,管外径8mm。
选配项:
适用各种尺寸大小的托盘
分配臂
泵
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 无
免费培训: 1次线上培训
免费仪器保养: 无
保内维修承诺: 因产品质量问题免费保修(各种消耗品除外),仪器提供全面维护,使之处于正常工作状态
报修承诺: 产品质保期内本公司提供36小时内的维修服务响应(除节假日外),以最快的速度派遣
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