Advance Riko-经济型RTP快速退火炉 RTP-6
Advance Riko-经济型RTP快速退火炉 RTP-6
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Advance Riko-经济型RTP快速退火炉 RTP-6

¥50万 - 80万

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ADVANCE RIKO

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RTP-6

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亚洲

  • 银牌
  • 第20年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

仪器种类: 普通真空快速退火炉

产地类别: 进口

样品尺寸: 6

温度范围: RT~1000℃

最高升温速率: 80℃/s

降温速率: 0

退火温度准确性: ±0.5℃

退火温度均匀性: 10℃

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RTP-6经济型快速退火炉

RTP-6升温速率可达80℃/s。

RTP-6采用抛物线形的黄金反射面,可均匀热处理6英寸的圆晶。该系统可进行快速的热处理,适合热处理工艺的研究与开发。可用于半导体工艺中硅化物的形成以及半导体化合物的过程退火。

应用:

1.   离子注入后的活化退火rtp-6.gif

2.   沉积氧化膜的退火

3.   欧姆电极合金化

4.   PZTSBT和其它铁电薄膜的结晶退火

5.   硅化物及自对准硅化物的生成

6.   发光元件,半导体激光基板的热处理

7.   超浅结的生成

8.   铁电电容器沉积

9.   栅氧化膜的生

rtp-6加热腔.gif

       特点:

l  快速热处理

l  腔体采用水冷,可进行快速降温

l  真空置换气氛后,可采用流动气氛进行热处理

l  温度程序设置和外部信号输入可以通过脑轻松控制

l  加热过程的温度数据也可以显示在电脑上

l  石英保护板(可选)可以安装在腔室内以防止污染

l  配备了各种安全措施

l  九个独立的加热区可实现不同尺寸样品均匀的温度控制

组成:

1.        红外金面反射炉系统图.gif

2.        加热腔

3.        可编程温控器

4.        9个独立的加热区

5.        跨度变换单元

6.        气体管路系统

7.        热气排出系统

8.        炉体框架,开关板

9.        高温计(可选)

10.     水冷机(可选)

11.     真空泵(可选)


参数:

RTP-6型号参数.gif


售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 安装培训不限人数

免费仪器保养: 保修期内,1次/年

保内维修承诺: 非耗材保修期内免费更换

报修承诺: 24小时内反馈,72小时内提出解决方案

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ADVANCE RIKO退火炉RTP-6的工作原理介绍

退火炉RTP-6的使用方法?

ADVANCE RIKORTP-6多少钱一台?

退火炉RTP-6可以检测什么?

退火炉RTP-6使用的注意事项?

ADVANCE RIKORTP-6的说明书有吗?

ADVANCE RIKO退火炉RTP-6的操作规程有吗?

ADVANCE RIKO退火炉RTP-6报价含票含运吗?

ADVANCE RIKORTP-6有现货吗?

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