PSM是一台差式泵质谱仪（In-Line Plasma Analysers for Neutrals, Radicals and Ion Analysis），分析等离子过程中的二次离子和中性粒子。
·差式泵歧管，通过法兰与过程反应室连接
·电子附着选件，具有可调谐的离子源，用于表观电势MS
·Penning规和互锁装置可提供过压保护
·信号选通分辨率1μs，用于研究脉冲等离子体或能量、质量分布VS时间
·标准分析中性粒子、自由基，+ve / -ve 离子分析可选
·灵敏度高 / 极稳定的3级过滤四极杆
·质量数范围： 0 ~ 2500amu
·脉冲离子计数检测器，7个数量级的动态范围
·Mu-Metal, Radio-metal屏蔽可选， 高压操作可选
·通过RS232、RS485或Ethernet LAN ，软件MASsoft 控制
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