SIMS 工作站(SIMS Workstation－a complete SIMS Analysis Facility) ，综合UHV / SIMS 设备，进行高级的表面分析。可靠的、普遍适用的SIMS分析工作站。
·整合的离子源，便于RGA和SNMS
·各类型样品的快速转向
·阴、阳离子、中性粒子、自由基的质量、能量分析仪
·整合的离子枪光栅控制和信号选通，进行深度分析
·绝缘体研究中的电子流枪用于电荷中和
·液氮冷井和真空室烘烤加热器
·自动的SIMS 离子光学透镜调谐和质量数列表，使SIMS性能最佳
·Hiden EQS SIMS 分析仪，运行于 MASsoft O/S 之下，检测限至ppb级
·基本的激发源选择： 带差式泵的Hiden IG20 Ion，IFG200 FAB或高性能液态镓枪
·快速样品传递，样品固定，负载锁定的操纵器
·4 轴：X, Y, Z, θ UHV 操纵器，以最佳定位样品
·加上ESM LabVIEW和SIMS 成像程序，进行SIMS元素成像
·静态SIMS谱图库可用
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