看了物理气相沉积设备的用户又看了
该系统可以作为以下功能装置：
1，研发级R&D镀膜设备，性能优异
2，具备所有研发级别的镀膜要求
3，高效的沉积速率，镀膜时间快
4， 实验室中培训的最佳工具
主要的特点和先进的功能：
1， 台式，小型，快速
2，全自动化程序控制
3，单靶或多靶联合溅射镀膜，多路气体管路
4，共聚焦设计，靶枪尺寸：2英寸，3英寸，4英寸，衬底可做到200mm，旋转1-20RPM，以及Load-lock配置
5，配置干泵+分子泵，可达高真空，适用高品质薄膜沉积。
6， 可做直流溅射，射频溅射，100W射频偏压（用于衬底表面清洗）
性能价格比高！！
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 1次免费培训
免费仪器保养: 3月1次
保内维修承诺: 免费维修免费更换部件
报修承诺: 2小时响应
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