X射线微区荧光光谱仪Micro-XRF
XTrace
基于SEM的高性能微区荧光光谱仪
拓展SEM的分析能力，遂行高阶的痕量元素分析
XTrace 是一款可搭配在任意一台具有倾斜法兰槽SEM上的微焦点Ｘ射线源。 利用该设备可使SEM具备完整意义上的微区XRF光谱分析能力。对于中等元素至重元素范围内的元素，其检测限提高了20-50倍。此外，因为Ｘ射线的信号激发深度甚于电子束，利用该设备还可以检测更深层次样品的信息。
本设备采用了Ｘ射线毛细导管技术，利用该技术，即使在非常小的样品区域也能产生很高的荧光强度。Ｘ射线毛细导管将Ｘ射线源的大部分射线收集，并将其聚焦成直径35微米的一个Ｘ射线点。
利用 QUANTAX EDS*系统的XFlash? 系列电制冷能谱探头即可对所产生的Ｘ射线荧光光谱进行采集。XFlash? 电制冷能谱探头使整个系统具备了非常高的能量分辨率，同时兼具了强大的信号采集能力。比如，利用面积30 mm2 的探头在分析金属元素时的输入计数率可达40 kcps。
Ｘ射线毛细导管技术使荧光强度得到大的增强，同时，荧光光谱的背底较低，这些都提高了系统对痕量元素的敏感度。相较于电子束激发的信号，其检测限可提高20-50倍。而且，因为Ｘ射线源激发信号对于高原子序数元素更，所以高原子序数元素检测限可提高至10ppm。
QUANTAX能谱仪系统和微区荧光光谱仪系统可在同一用户界面内结合使用，从而互相补强，实现定量分析结果的*优化。
用户友好型设计
聚焦于分析任务，而非繁琐的系统设置
利用ESPRIT HyperMap进行面分布分析的同时采集了的数据并存储，便于后续的离线分析。
样品可利用EDS系统和micro-XRF系统并行进行分析，而无需任何的样品移动。
两种分析方法无缝整合在同一分析软件ESPRIT中，切换分析方法轻点鼠标。
XTrace 不会干扰任何SEM及EDS操作。
需点滴投入，即可获得独立微区荧光光谱仪的强大功能
分析结果可与独立系统媲美。
样品倾斜后可对更大区域进行面分布分析。
提供三个初级滤片以压制衍射峰。
直接利用扫描电镜的样品台，无需其它的样品台装置。
通过扫描电镜样品台的旋转轻松避免谱图中衍射峰的出现。
可倾斜样品以获得*小束斑直径。
应用实例
XTrace大地扩展了扫描电镜元素分析的灵活性。其应用领域包括元素分析（金属、催化剂等），法医学（涂料、玻璃、枪击残留物等），地质学及其它很多领域。
多层样品的表征
利用XTrace对多层样品进行分析具有特别的优势。因为多层样品的内部结构比较复杂，利用能谱仪可能无法观测到其中的部分结构。
可靠性更高的金属和合金鉴别
微区XRF的高敏感性使其非常适合于合金，尤其是金属小颗粒，比如发动机磨损产生的碎片等物质的分析及鉴定。
PCB板元件及电路的分析
利用XRF对于痕量元素的高灵敏度及信号激发深度的长处来分析此类样品具有特别的优势。PCB板可能含有被RoHS指令禁止的有害元素。这些元素可以被微区XRF更可靠地检测出来，特别是RoHS等指令要求设备具有非常低的检测限。
聚合物中的金属及有害元素
聚合物通常被工程采用以实现特定的目的。其中就包含了利用金属和矿物作为添加物来实现工程目的。利用XTrace即可探测聚合物中的添加物并表征出其面分布情况。比如，RoHS指令中对玩具类商品的检测。
