膜厚测量仪 NanoCale
NanoCalc薄膜反射测试仪能够实现10nm-250um范围内的膜层厚度测量。对于单层膜厚, 其精度可达0.1nm。通过软件选择, 1s 内可以实现单膜或多膜测量, 并能够实现半导体配向膜, 抗划膜, 硬膜, 增透膜的测量。NanoCalc 基于反射光干涉来测量膜厚, 不适用于非透明基底材料, 也适用于透明基底材料膜厚测量。
- Nanocalc 3.06：Windows膜厚测试软件, 用于测量、模拟及分析, 至多可达10 层膜。并且含材料数据库可以查到大多数常用材料的n、k值；用户也可以自己添加与编辑此材料库或者通过色散方程来定义材料。
-- 参考阶跃圆晶片：阶跃型参考圆晶片，4 英寸硅基底镀有6层二氧化硅膜，用于校准。
--STAGE-RTL：此支架易于实现各种膜厚测量及光谱实验搭建。并且样品表面与光纤探头距离恒定，校准容易及准确。而上面的光陷阱盒可以避免背景反射光及环境光，而这对于透明基底材料的测量是必要且重要的。
波长：400-85nm
厚度范围：50nm-20μm
光学分辨率：0.1nm
可重复性：0.3nm
入射角：90°或者70°
测试速度：100ms-1s
