2020/03/09 16:22
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方案摘要:
产品配置单:
多功能桌面式ALD原子层沉积系统AT610
型号: AT610
产地: 美国
品牌:
¥50万 - 100万
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进口纳米狭缝涂布机
型号: nRad
产地: 美国
品牌:
面议
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扫描型光学膜厚仪 FR-Scanner
型号: FR-Scanner
产地: 希腊
品牌:
¥20万 - 50万
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方案详情:
热处理过程中薄膜厚度和折射率的实时实时监测
目的:通过热处理过程中对薄膜厚度和折射率的实时监测,确定聚合物薄膜的玻璃化转变温度。
方法:使用配置为在360-1000nm光谱范围内工作的FR-热VIS/NIR。集成在工具上的热板,是手动或通过FR-Monitor控制的。 Ftware。在目前的情况下,薄膜的厚度和折射率(柯西模型)在恒定速率的加热过程中被监测。所研究的聚合物为聚异丁基甲烷 丙烯酸酯(PIBMA)、聚甲基丙烯酸正丙酯(PPMA)和聚甲基丙烯酸乙酯(PEMA)及其薄膜在硅片上自旋包覆。在测量之前,样品已被后置 在145°C下浸泡15分钟。
结果:加热速率为2-3oC/min,聚合物膜厚度和折射率在50次测量/min时被监测,并绘制了两个参数与温度的关系图,无花果。1a-c. 显然,在两种温度条件下,聚合物膜厚度随温度呈线性增加。外推线性剖面的交点被定义为草的过渡温度。
厚度增加率与文献中报道的每种聚合物的“橡胶相”热膨胀系数值吻合较好。当温度值高于T时 并在相同的数量级与报告的数值在“玻璃相”4。
甲基丙烯酸酯薄膜的热处理以及薄膜厚度和折射率的监测a)PiBMA,b)PBMA,c)PEMA。 根据温度范围,热膨胀系数的计算值是:(i)对于T <Tg为2.9-3.4 * 10-4,并且(ii)对于T> Tg为6.4-6.7 * 10-4。 这些值与这些聚(甲基丙烯酸烷基酯)4的书目数据一致。
结论:用装有FR-热试剂盒的FR-Basic测量了聚合物薄膜的玻璃透射温度。类似地,还可以确定聚合物薄膜的其他热参数例如:聚合物膜的降解温度。
FR的工具基于白光反射光谱(Reports) 。
准确同步的厚度测量及薄膜的折射率
-一个广泛的多样化的应用范围广泛的光电
特性的工具和整体解决方案,如:
半导体、有机电子、聚合物、涂料和涂料、
光伏、生物传感、化学传感...
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