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核心参数
产地类别： 进口
旋转速度： 12000rpm
基片直径： 150mm
POLOS SPIN150x
新的改进和创新设计的 POLOS SPIN150x 型号，它是一种多功能的高质量基材旋涂机，由 NPP制成，也可采用 PTFE 制成。它是专门为研发和小批量生产而设计的。它是用于手动或自动（可选）化学品分配的桌面版本。
品牌 | Polo |
型号 | POLOS-SPIN150x |
编号 | POLOS-SPIN150x-NPP |
样品尺寸 | 最大直径 6" (150 mm) |
最高转速 | 12000rpm |
旋转方向 | 可正反转 |
独特的新设计
新的独特的外壳和排水设计允许您在桌面和甲板模型之间切换，此外，该单位的目的是升级，在现场使用各种不同的配件，以方便配药和整体处理。
液体过滤疏水阀
Spin X系列配备了液体过滤器，以保护我们旋涂机的关键部件，如驱动单元、真空阀、真空传感器和ServoBL控制器。液体过滤器捕集器将捕获通过处理室或真空吸盘进入真空管路的任何液体。任何抗蚀剂或液体都将安全地保存在液体罐/瓶中，可通过旋转器壳体上的切口看到。我们建议所有客户在维护期间检查液体罐/瓶，如果有液体，请清空瓶子。
旋涂机适用于:涂层、清洁、冲洗/干燥、显影、蚀刻、PDMI和其他流程。
规格硬件SPIN150x:
1.液体过滤疏水阀
2.独特的外壳和排水管设计，可在桌面和内甲板模式之间切换
3.用于注射器或分配喷嘴中心注射保持器
4.盖锁和真空传感器确保用户安全
5.大型(可拆卸)触摸屏显示器
6.有USB端口用于存储程序或者更新设备
7.驱动单元:间接无刷驱动单元-高达12000RPM(取决于基板/卡盘)
8.高加速度和高精度
9.加速/减速1-30000转/分钟
10.CW,CCW旋转和滴液选项
免费卡盘和适配器:
1个A-V36-S45-PP-HD真空吸盘，1个D-V10-S50-PP-HD 碎片托盘
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企业名称
迈可诺技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
民营
信用代码
39982968-000-11-23-9
成立日期
2008-02-21
注册资本
139万
经营范围
通讯电子产品、机械自动化产品、半导体产品、计算机信息技术产品研发、销售及技术服务
迈可诺技术有限公司
公司地址
武汉市洪山区
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