技术介绍
kSA ACE 是一种高灵敏度的在线原位原子束流监测设备,它利用原子吸收光谱的原理来测量对应原子种类的通量率。该设备可整合到MBE分子束外 延,磁控溅射系统、电子束/热蒸发系统和PLD脉冲激光沉积等设备上,实时原位检测原子束流密度、生长速率,实现对薄膜成分控制。
应用场景
kSA ACE 可以独立测量每种待测材料,在多源蒸发或共溅射过程中提供精确的特定材料束流通量监测控制。凭借其在连续操作下的灵敏度 和长期可重复性,可广泛应用于 III-V 和 II-VI 化合物、半导体器件、薄膜传感器、太阳能电池、光学涂层、X 射线光学器件、平板显示器等领域的 薄膜生长监控。
适用场景:
• MBE(分子束外延)
• 蒸发镀膜:电子束、离子束辅助、热蒸发等
• 溅射镀膜:RF/DC磁控,离子束等
• PLD(脉冲激光沉积)
• 等离子体刻蚀
测量原理
kSA ACE 可将多达三个阴极灯 (HCL) 的发射光谱组合成一个共线光束,并且测量过程中光束被分成参考通道和信号通道。参考通道和信号通道均由 高灵敏度、高空间分辨率的光谱仪连续监测,该光谱仪可同时监测多达三个元素。 参考通道为 HCL 强度波动提供连续校正。信号光束通过光纤耦合 到处理腔室上的透镜单元,然后光束通过蒸发源束流,从而引起原子吸收特征谱线衰减,此衰减与信号通道光束体积内的原子密度成比例关系。此外 该系统还包括一个氙气闪光灯光源,以校正视口涂层对测量产生的影响。整个光学系统保持温度稳定,以确保设备长期运行的稳定性。
技术特点
1. 通过特定元素的原子吸收光谱提供对原子束流通量的实时监测,每个系统最测量三种元素,可实时测量生长速率和束流通量密度。
2. 提供与吸收率或生长速率成比例的 TCP/IP 模拟电压输出,用于过程控制。
3. 系统主要包括:kSA ACE 机架、光学配件、探测器、光源和 kSA ACE 软件等。
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企业名称
巨力科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
BODY CORPORATE
信用代码
51898450-000-03-22-0
成立日期
2010-03-09
注册资本
1000000HKD
经营范围
经销先进科学仪器设备,并提供售后服务,技术支持
巨力科技有限公司
公司地址
北京市通州区万达广场B-1311
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