产地类别: 国产
靶材材质: 金
靶材尺寸: Ф50mm
控制方式: 手动
样品仓尺寸: 直径:160mm,高:120mm
样品台尺寸: Ф50mm
溅射气体: 空气,氩气
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一、产品应用:
JS-600M小型磁控溅射仪采用二极(DC)直流溅射原理设计,带磁控靶头,有水冷功能。设备操作简单方便,适用于扫描电子显微镜(SEM)样品制备,非导体材料实验电极的制作。
磁控溅射为冷溅射,对样品表面的升温较低,适用对温度较敏感的薄膜样品。用户可以根据自己的需要自行选择不同的真空条件,溅射电流。大尺寸的真空腔体设计,满足大样品的溅射需求。标配一片金靶,纯度为99.999%,为获得高质量的金膜提供了良好的基础。
二、配置及技术指标:
1.水冷却磁控靶,靶面直径为50mm;冷却水接口:6*4mm快速插头。
2.主机规格:L360mm*W300mm*H380mm
3.靶(上部电极):金:直径:50mm,厚度:0.1mm
4.真空样品室:直径:160mm,高:110mm
5.溅射面积:Ф50mm
6.工作真空:2×10-1—6×10-2 mbar
7.离子电流表:0-100mA
8.定时器:根据溅射习惯设定单次溅射时间。
9.针阀: 配有进气口,微量充气调节,可连接φ4*2.5mm软管。
10.工作室工作媒介气体:空气或氩气等多种气体
11.溅射电压:-1600 DCV
12. 飞跃真空泵(VRD-4):1.1L/S
三、 产品特点
1. 轻便、溅射面积大
2. 可以溅射铂、金及银等金属
3. 溅射效率高,可水冷降温
备注:JS-600M小型磁控溅射仪可适用的靶材:金、铂、银
用户单位 | 采购时间 |
---|---|
贵州师范学院 | 2016-12-22 |
中国科学院长春应用化学研究所 | 2016-11-18 |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 无
免费培训: 电话或者视频沟通
免费仪器保养: 无
保内维修承诺: 免费维修
报修承诺: 24小时提供解决方案
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