仪器种类： 原子力显微镜
产地类别： 进口
定位检测噪声： 0.01nm
样品尺寸： 20um*20um(依型号而定）
样品台移动范围： 100um*100um*10um
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Scanning Microwave Impedance Microscopy，简称为sMIM，扫描微波阻抗显微镜，让您的AFM成为专业的电学显微镜！
50nm超高分辨率，~100nm内部电学探测，导体、半导体、绝缘体的广泛适用度，为您提供电导率、介电常数、掺杂浓度纳米级高灵敏度电学表征成像的解决方案。
Scan Wave™ 可应用于多种领域材料的研究和发展：微电子材料，铁电材料，工业材料，以及石墨烯、碳纳米管，2D半导体、纳米材料等新星材料等。
独立扫描模块，包括微波信号发生器、探针干涉模块、自主专利同轴屏蔽探针、以及微波近场软件，可应用于各种AFM平台。
特殊MEMS结构探针，有效避免散杂磁场的干扰
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sMIM-C成像：介电常数、电容变化；
sMIM-R成像：电导率、电阻率变化；
dC/dV 振幅：载流子浓度；
dC/dV 相位：载流子类型+/- ；
dR/dV 振幅：相关损失系数；
dR/dV 相位：相关损失系数
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·工业级高灵敏度、低噪音，“Hard stuff”材料电学测试不再是难题；
·可实现表面下成像、检测（>100nm)
·不同材料同步测量：导体、半导体、绝缘体、电介质都可以实现，不同的材料甚至分类都可以 在一次扫描中观测。
·简易操作：不需要样品特别处理，不需要将样品放置在导电或电流中，人性化软件设计，操作简单。
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