仪器种类： 高真空快速退火炉
产地类别： 进口
样品尺寸： 2-8英寸
温度范围： 150~1,250℃
最高升温速率： 10~200℃/sec
退火温度准确性： ≤ 3℃
退火温度均匀性： ≤ 1.0% of set temperature
看了退火炉的用户又看了
3英寸、4英寸、6英寸、8英寸真空快速退火炉系统。
应用：
RTA（快速热退火）； RTO（快速热氧化）；注入退火；扩散；化合物半导体退火；渗氮；渗硅； 结晶化与致密化；
特点：
适用于2英寸~8英寸晶圆，高可靠性和低拥有成本。不锈钢冷壁腔体技术； 高工艺重复性，超清洁无污染环境、 高冷却速率低记忆效果。 可实现高达10-6 mbar的高真空环境。 高温计和热电偶控制，高速数字PID温度控制器，边缘高温计视点保障了化合物半导体和小样品的基座的加强温度控制。
使用特点：
温度范围：RT to 1000°C；
斜坡速率：最高200°C/s；
气体混合功能：使用质量流量控制器控制；
真空范围：大气压～10-6 Torr，可配置分子泵；
本系统提供全电脑控制，应用控制软件兼容window系统。
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 1次免费培训
免费仪器保养: 3月1次
保内维修承诺: 免费维修免费更换部件
报修承诺: 2小时响应
退火炉KVR-6000的工作原理介绍
退火炉KVR-6000的使用方法?
KVR-6000多少钱一台?
退火炉KVR-6000可以检测什么？
退火炉KVR-6000使用的注意事项？
KVR-6000的说明书有吗？
退火炉KVR-6000的操作规程有吗？
退火炉KVR-6000报价含票含运吗？
KVR-6000有现货吗？
