按探测器： CCD
产地类别： 国产
光谱范围： 200~980nm
分辨率： 0.77nm
信噪比： 1000:1；3000:1 (非线性区间的最大信噪比)
动态范围： 25000:1
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ZURO 发射光谱监控光谱仪
25000:1 动态范围 / 小于 1nm 分辨率 / 超过 10000h 验证
ZURO 光谱仪 具有以下显著特点： 1 小于 1nm 光学分辨率 ZURO 系列光谱仪采用特殊光路设计，实现较高光学分辨率，能区分间隔相邻的谱线，满足客户的大部分工业监控需求； 2 25000:1 大动态范围 ZURO 系列光谱仪采用了复享光学研发的信号调制方法能获得较大动态范围，实现客户在高强度辉光下测到微弱信号谱线的苛刻要求； 3 超过 10000 小时长期验证 ZURO 系列光谱仪经过半导体厂商长期测试，不掉线且数据稳定，保障客户稳定在线生产； 4 宽波段等离子体谱分析 ZURO 系列光谱仪探测器响应波段覆盖 200~1100nm，安装定制滤光片，保证客户在复杂等离子体信号中能获得正确与真实的元素特征光谱信号，消除虚假特征信号。此外，复享光学深入半导体设备厂商应用，研制用于刻蚀终点检测行业软件 ideaEPD，实现多达 10 腔同时采样监控、自定义终点判断算法、历史数据再查询等功能，并可提供 SDK 开发包，兼容 MES 系统。
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 有
免费培训: 1人次培训
免费仪器保养: 1年1次
保内维修承诺: 可以
报修承诺: 24小时内回应
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