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核心参数
按探测器： CCD
产地类别： 国产
光谱范围： 200~980nm
分辨率： 0.77nm
信噪比： 1000:1；3000:1 (非线性区间的最大信噪比)
动态范围： 25000:1
ZURO 发射光谱监控光谱仪
25000:1 动态范围 / 小于 1nm 分辨率 / 超过 10000h 验证
ZURO 系列光纤光谱仪 针对集成电路制造工艺设备研发，能在半导体 Fab 环境下长期稳定工作。包含 ZURO-ND 和 ZURO-SM 共 2 款型号产品，适用于不同场景下的刻蚀、去胶、镀膜等工艺的监控。同时，光谱仪可配备 ideaEPD 工业软件，为客户提供全面的刻蚀终点检测解决方案。
典型应用领域：
栅极工艺 栅极工艺的多晶硅刻蚀，需要一套高灵敏、高信噪比和大动态范围的光谱仪。
沟槽工艺 IGBT 器件刻蚀要控制深度，需要 in-situ 刻蚀深度监控方案，提高良率。
博世工艺 MEMS 器件加工中，刻蚀与钝化工艺反复交替进行，需要较为强大的复杂过程监控算法。
去胶工艺 Wafer 图形化后去胶，需要多套联用和高通量清洗方案，降低客户 COO 成本。
ZURO 光谱仪 具有以下显著特点： 1 小于 1nm 光学分辨率 ZURO 系列光谱仪采用特殊光路设计，实现较高光学分辨率，能区分间隔相邻的谱线，满足客户的大部分工业监控需求； 2 25000:1 大动态范围 ZURO 系列光谱仪采用了复享光学研发的信号调制方法能获得较大动态范围，实现客户在高强度辉光下测到微弱信号谱线的苛刻要求； 3 超过 10000 小时长期验证 ZURO 系列光谱仪经过半导体厂商长期测试，不掉线且数据稳定，保障客户稳定在线生产； 4 宽波段等离子体谱分析 ZURO 系列光谱仪探测器响应波段覆盖 200~1100nm，安装定制滤光片，保证客户在复杂等离子体信号中能获得正确与真实的元素特征光谱信号，消除虚假特征信号。此外，复享光学深入半导体设备厂商应用，研制用于刻蚀终点检测行业软件 ideaEPD，实现多达 10 腔同时采样监控、自定义终点判断算法、历史数据再查询等功能，并可提供 SDK 开发包，兼容 MES 系统。
复享光学光纤光谱仪ZURO的工作原理介绍
光纤光谱仪ZURO的使用方法?
复享光学ZURO多少钱一台?
光纤光谱仪ZURO可以检测什么？
光纤光谱仪ZURO使用的注意事项？
复享光学ZURO的说明书有吗？
复享光学光纤光谱仪ZURO的操作规程有吗？
复享光学光纤光谱仪ZURO报价含票含运吗？
复享光学ZURO有现货吗？
企业名称
上海复享光学股份有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310110000561104
成立日期
2011-06-29
注册资本
1050
经营范围
光学科技,仪器设备、新材料、检测技术、医药、化学、能源领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务;从事货物及技术的进出口业务;仪器仪表的维修(除计量器具)及销售,自动化设备销售,光谱仪器的组装生产,仪器耗材的销售,测试服务;化工原料及产品(危险化学品详见许可证)。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
上海复享光学股份有限公司
公司地址
中国上海市杨浦区国定东路200号4号楼412室
客服电话
公司名称： 上海复享光学股份有限公司
公司地址： 中国上海市杨浦区国定东路200号4号楼412室 联系人： 林瑜 邮编： 200433 联系电话： 400-860-5168转2332
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