UniTemp真空快速退火炉RTP-100,RTP-150,RTP-200
UniTemp真空快速退火炉RTP-100,RTP-150,RTP-200

面议

暂无评分

尤尼坦

暂无样本

RTP-200/RTP-150

--

欧洲

  • 银牌
  • 第1年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

仪器种类: 高真空快速退火炉

产地类别: 进口

样品尺寸: 8寸

温度范围: 0-1200

最高升温速率: 150度/s

降温速率: 200度/S

退火温度准确性: 优于1%

退火温度均匀性: 优于1%

RTP-100/150快速退火炉为德国优尼坦公司生产,分为RTP-100, RTP-150, RSO-200,VPO-300共四个型号,分别对应4英寸、6英寸、8英寸、12英寸的真空快速退火炉产品。

点击查阅详细信息

技术规格:

- 最高温度:1200摄氏度;

- 升温速率:150摄氏度/秒;

- 降温速度:200摄氏度/分钟 (1000摄氏度-->400摄氏度);

- 温控均匀性:≤ 1.5%设定温度;

- 加热方式:红外卤素灯,顶部及底部加热;

- 灯管数量及功率:18支/20千瓦(RTP-100),24支/21千瓦(RTP-150);

- 腔体冷却:水冷方式;

- 衬底冷却:氮气吹扫;

- 工艺气路:MFC控制,最多4路 (氮气、氩气、氧气、氢氮混合气等);

- 主机尺寸及重量:505mm x 504mm x 420mm (W x D x H),约55Kg;

 

仪器特点:

- 真空快速退火炉,有低真空型号(10-3 hPa)、高真空型号(10-6 hPa);

- 可在不同气氛环境下使用,如惰性气体、氧气、氢氮混合气等;

- 控制方式:SIMATIC, SPS人机界面控制,7英寸触摸屏;

- 可存储50个程序,每个程序最多分为50段控制;

- 全自动智能控制,包括温度、时间、气体流量、真空度、循环水均可自动设置;

- 优异的温控均匀性,极佳的工艺重现性;

- 小尺寸台式设计;

 

应用领域:

- 离子注入/接触退火;

- 快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快速热氮化(RTN);

- 可在真空、惰性气氛、氧气、氢气、混合气等不同环境下使用;

- SiAu, SiAl, SiMo合金化;

- 低介电材料;

- 晶体化,致密化;

- 太阳能电池片键合;

等等...


参考客户:

西安交通大学、西安电子科技大学、中国科技大学、江汉大学、中科院上海技术物理所、中科院苏州纳米所、北京航天仪器研究所、京东方、武汉光迅、能华微电子等。

 


售后服务承诺

产品货期: 200天

整机质保期: 1年

培训服务: 安装调试现场免费培训

用户评论
暂无评论
问商家

尤尼坦退火炉RTP-200/RTP-150的工作原理介绍

退火炉RTP-200/RTP-150的使用方法?

尤尼坦RTP-200/RTP-150多少钱一台?

退火炉RTP-200/RTP-150可以检测什么?

退火炉RTP-200/RTP-150使用的注意事项?

尤尼坦RTP-200/RTP-150的说明书有吗?

尤尼坦退火炉RTP-200/RTP-150的操作规程有吗?

尤尼坦退火炉RTP-200/RTP-150报价含票含运吗?

尤尼坦RTP-200/RTP-150有现货吗?

UniTemp真空快速退火炉RTP-100,RTP-150,RTP-200信息由南通宏腾微电子技术有限公司为您提供,如您想了解更多关于UniTemp真空快速退火炉RTP-100,RTP-150,RTP-200报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
推荐品牌
移动端

仪器信息网App

返回顶部
仪器对比

最多添加5台