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核心参数
仪器种类： 高真空快速退火炉
产地类别： 进口
样品尺寸： 8寸
温度范围： 0-1200
最高升温速率： 150度/s
降温速率： 200度/S
退火温度准确性： 优于1%
退火温度均匀性： 优于1%
RTP-100/150快速退火炉为德国优尼坦公司生产，分为RTP-100, RTP-150, RSO-200,VPO-300共四个型号，分别对应4英寸、6英寸、8英寸、12英寸的真空快速退火炉产品。
点击查阅详细信息
技术规格：
- 最高温度：1200摄氏度；
- 升温速率：150摄氏度/秒；
- 降温速度：200摄氏度/分钟 (1000摄氏度-->400摄氏度)；
- 温控均匀性：≤ 1.5%设定温度；
- 加热方式：红外卤素灯，顶部及底部加热；
- 灯管数量及功率：18支/20千瓦(RTP-100)，24支/21千瓦(RTP-150)；
- 腔体冷却：水冷方式；
- 衬底冷却：氮气吹扫；
- 工艺气路：MFC控制，最多4路 (氮气、氩气、氧气、氢氮混合气等)；
- 主机尺寸及重量：505mm x 504mm x 420mm (W x D x H)，约55Kg；
仪器特点：
- 真空快速退火炉，有低真空型号(10-3 hPa)、高真空型号(10-6 hPa)；
- 可在不同气氛环境下使用，如惰性气体、氧气、氢氮混合气等；
- 控制方式：SIMATIC, SPS人机界面控制，7英寸触摸屏；
- 可存储50个程序，每个程序最多分为50段控制；
- 全自动智能控制，包括温度、时间、气体流量、真空度、循环水均可自动设置；
- 优异的温控均匀性，极佳的工艺重现性；
- 小尺寸台式设计；
应用领域：
- 离子注入/接触退火；
- 快速热处理(RTP)，快速退火(RTA)，快速热氧化(RTO)，快速热氮化(RTN)；
- 可在真空、惰性气氛、氧气、氢气、混合气等不同环境下使用；
- SiAu, SiAl, SiMo合金化；
- 低介电材料；
- 晶体化，致密化；
- 太阳能电池片键合；
等等...
参考客户：
西安交通大学、西安电子科技大学、中国科技大学、江汉大学、中科院上海技术物理所、中科院苏州纳米所、北京航天仪器研究所、京东方、武汉光迅、能华微电子等。
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企业名称
南通宏腾微电子技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91320602MACC00FA7D
成立日期
2023-03-17
注册资本
100万元整
经营范围
一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让技术推广;软件开发;软件销售;人工智能基础软件开发;工业机器人安装、维修;智能机器人销售;工业机器人销售;智能机器人的研发:人工智能硬件销售;通用设备修理;电子产品销售;信息系统集成服务;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;集成电路设计:电子元器件零售;专业设计服务;电力电子元器件销售;光学仪器销售;仪器仪表修理;仪器仪表销售;智能控制系统集成;人工智能行业应用系统集成服务;办公设备耗材销售;计算机软硬件及辅助设备零售:机械设备销售;电子元器件与机电组件设备销售:电工仪器仪表销售;机械零件、零部件销售;电气设备修理;普通机械设备安装服务;电子、机械设备维护(不含特种设备):智能仪器仪表销售:工业自动控制系统装置销售;信息技术咨询服务;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);办公设备销售;高速精密齿轮传动装置销售;工业设计服务;互联网销售(除销售需要许可的商品):金属制品销售:电机及其控制系统研发:微特电机及组件销售;五金产品零售,日用百货销售(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)
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