德国SPS(POLOS)基材旋涂机SPIN150i用于光刻胶使用

一、SPS(POLOS)公司介绍

SPS(POLOS)旋涂机主要用于利用向心力制造厚度低于 10 nm 的均匀高质量厚度的薄膜。通常，您在半导体晶圆上旋转涂光刻胶，但我们的POLOS旋涂机也用于旋涂聚合物薄膜，如嵌段共聚物（BCP），如PDMS和PMMA，或作为低成本的溶胶-凝胶方法，例如旋涂ZnO薄膜。

二、SPS(POLOS)型号介绍

SPS(POLOS) Part nr: 41096 POLOS SPIN150i 

SPS(POLOS) Part nr: 41387 POLOS SPIN200i NPP

SPS(POLOS) Part nr: VP-230V Vacuum Pump (Oil-less) 

SPS(POLOS) Part nr: 27852 

SPS(POLOS) Fragment Adapter (D-V2.5-S50-PP)  

三、SPS(POLOS)产品介绍

1、SPS(POLOS)旋涂

POLOS旋涂机提供无限的工艺：通过大型彩色触摸屏控制器进行简单的分步配方编程，USB连接或从您自己的PC下载，无限的程序/步骤和图形表示。它们还提供可重复的旋涂工艺，一次又一次。可作为单台台式晶圆旋涂机提供，但我们也提供全系列湿站解决方案。联系我们获取更多信息！

德国SPS(POLOS)型号介绍：

德国SPS(POLOS)旋涂机150 毫米

德国SPS(POLOS)200 毫米

德国SPS(POLOS)300 毫米

德国SPS(POLOS)450 毫米

德国SPS(POLOS)>500 毫米

1.1、SPS(POLOS)单晶圆旋涂机SPIN150i分为：天然聚丙烯

聚四氟乙烯两种材质

高品质旋涂机专为MEMS，半导体，PV，微流体等领域的研发和小批量生产而设计。

Ø150 mm 或 4“ x 4” 方形基板

SPS(POLOS)参数：

材料：天然聚丙烯（NPP）

SPS(POLOS) SPIN150i是一款多功能的高质量基材旋涂机，由PTFE或NPP制成。它专为研发和小批量生产而设计。用于手动或自动（可选）化学品分配的桌面版本。

适用于涂层、清洁、漂洗/干燥、显影、蚀刻、PDMI 和其他工艺

1.2、规格：

高达 6“ （150 mm） 晶圆

高达 4“ x 4” （100 mm） 方形基板

材料：天然聚丙烯（NPP）

通过大型彩色触摸屏进行简单的分步配方编程

带注射器支架的透明盖子，用于中央分配

电磁安全盖锁

N2扩散器，用于在过程中清除N2

12.000 rpm（取决于基板/卡盘）

高加速度和高精度

手动化学品分配

CW 和 CCW 轮换

（可拆卸）带有可定制图标的彩色触摸屏

无限的程序存储，每个配方有多个步骤

接口

SPS(POLOS)包括

1 x A-V36-S45-NPP-HD 真空吸盘

1 x D-V10-S50-NPP-HD 片段适配器