热拆键合机
热拆键合机

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ERS

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欧洲

  • 银牌
  • 第2年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数
  • 晶圆尺寸: 300/330 mm
  • 温度控制: 20~240℃ ±2℃
  • 装载和卸载: 手动/全自动
  • 晶圆传输系统: 三温无接触传输

该系统是用于分离晶圆与载体(热拆键合)的FOWLP技术,通过释放热量将载体剥离

FOWLP优化热拆键合技术

全自动脱胶

FOWLP晶圆翘曲控制和监测

FOWLP晶圆正面标记

全自动翘曲矫正模式

晶圆尺寸:300/330 mm

温度控制:20~240℃ ±2℃

装载和卸载:手动/全自动

最大翘曲处理能力:输入翘曲:10 mm    矫正后的翘曲:<1 mm

晶圆传输系统:三温无接触传输

ESD控制:带有自动反馈传感器的电离器


售后服务承诺

产品货期: 60天

整机质保期: 1年

培训服务: 安装调试现场免费培训

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