仪器种类： 台式/桌面型
看了扫描电镜（SEM）的用户又看了
大镜面，大偏转角度闭环反馈微型振镜
所属类别：光机产品/精密定位控制系统 ? 快倾镜/转镜/旋转平台
所属品牌：
负责人姓名：李工(William)
大偏转角度微型振镜
上海昊量光电设备有限公司推出的微型振镜是一款体积紧凑的大镜面微型振镜。
该振镜促动器技术成熟的电磁驱动。单个镜面可提供二维光束偏转，镜面尺寸可达到15mm，该设备不仅可以提供较大的镜面尺寸，光学偏转角度更是可达到±50°该系统包含一个位置反馈系统，设备的整体分辨率可达到5mrad。
u 主要特点：
l 大的镜面尺寸
l 大的光学偏角最大可达+/- 50°
l 闭环控制精度可达5mrad
u 主要应用：
l 激光雷达
l 自动驾驶辅助系统
l 视觉（视场扩展、缩放）
l 计量生物学&诊断设备
l 3D打印
u 主要参数：
Actuator Type | 4-Quandrant (2 axis, bi-directional) | |
Mechanical tilt angle DC | ±25 X axis; ±25 Y axis | ° |
Mechanical tilt angle dynamic | ±25 X axis; ±25 Y axis | ° |
Mirror diameter | 15 | mm |
Center of rotation to mirror surface | 1.3 | mm |
External diameter | 30 | mm |
Zero drift | 25 | μrad/°C (Max) |
Resolution (closed loop) | <5 | μrad |
Repeatability RMS (typical) | 30-100 | μrad |
Full scale bandwidth Sine wave (+/-25°) | 20 | Hz |
Small signal bandwidth | 350 | Hz |
Large angle step response (20° step) | 7.5 | ms |
Small angle step response (0.1° step) | 1.4 | ms |
u 微型振镜驱动控制器：
整机质保期: 0年
培训服务: 安装调试现场免费培训
Mirrorcle Technologies无框架两轴扫描MEMS镜像设备是基于专利的ARI-MEMS制造技术，最初是由位于加州伯克利的亚得里亚海研究所(“ARI”)的研究项目开发的。它们在两轴上提供非常快的光束转向，同时需要超低功耗。反射镜使激光束或图像在每轴上的光学扫描角度(点对点或准静态模式)达到32°，共振模式下的角度更高。与笨重的基于振镜的光学扫描仪相比，这些设备需要的驱动功率要小几个数量级:驱动镜面倾斜旋转的静电执行器持续全速运行耗散的功率不到1mw。Mirrorcle Technologies MEMS镜面完全由单片单晶硅制成，具有良好的可重复性和可靠性。在平坦光滑的镜面表面涂上一层具有高宽带反射率的金属薄膜。较小和中等尺寸的镜子被作为硅MEMS芯片的集成部件制造，而较大的镜子被粘合到驱动器上，允许定制镜子尺寸。
Mirrorcle Technologies无框架两轴扫描MEMS镜像设备是基于专利的ARI-MEMS制造技术，最初是由位于加州伯克利的亚得里亚海研究所(“ARI”)的研究项目开发的。它们在两轴上提供非常快的光束转向，同时需要超低功耗。反射镜使激光束或图像在每轴上的光学扫描角度(点对点或准静态模式)达到32°，共振模式下的角度更高。与笨重的基于振镜的光学扫描仪相比，这些设备需要的驱动功率要小几个数量级:驱动镜面倾斜旋转的静电执行器持续全速运行耗散的功率不到1mw。Mirrorcle Technologies MEMS镜面完全由单片单晶硅制成，具有良好的可重复性和可靠性。在平坦光滑的镜面表面涂上一层具有高宽带反射率的金属薄膜。较小和中等尺寸的镜子被作为硅MEMS芯片的集成部件制造，而较大的镜子被粘合到驱动器上，允许定制镜子尺寸。
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