SEM/TEM样品杆等离子清洗机
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SEM/TEM样品杆等离子清洗机

¥5万 - 10万

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PIE Scientific

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Tergeo-EM

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美洲

  • 银牌
  • 第8年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

Header_wide.jpg Tergeo-EM 等离子清洗机


Tergeo-EM等离子清洗机   ● 集成直接浸泡和远程/Downstream清洗模式

   ● 实时检测等离子体强度的等离子体传感器

   ● 可毫秒级别短脉冲操作。

   ● All-in-one实验室等离子蚀刻、处理和清洗系统。

   ● 用于批量加工的大型样品室,带有矩形石英样品托盘

   ● 双TEM 适配器,可配置为支持两个不同品牌的样品杆


支持不同TEM/SEM系统

合并图2.jpg

Direct & downstream 清洗模式
Direct.jpg
Downstream.jpg


问号.jpg 敏感的样品如何用传统等离子清洗?

           通常需要很高的射频功率来点燃等离子体,但是一旦等离子被点燃,等离子就可以较低的射频功率维持。但是传统的等离子体清洗机很难自动、可靠地产生极弱的等离子体来处理诸如TEM碳膜和对热等敏感样的品。


回答.jpg  为什么Tergeo EM可以轻松处理易破和热敏性样品?


           Tergeo EM等离子清洗机集成SmartClean TM独特的等离子传感器,可以实时测量等离子强度,系统控制器不断地了解等离子体的状态。如果等离子体未能在低射频功率设置下点燃,系统将自动增加射频功率,直到等离子体点燃。一旦等离子体点燃,系统将立即将射频功率降低到配方设置。这一功能使Tergeo EM的射频功率比同产品功率低得多。


           同系统中包含两种直接浸泡和远程Downstream清洗模式。远程Downstream清洗模式提供了一种温和的处理方法,可以显著减少传统直接模式等离子体系统中的样品加热、离子溅射问题。

           系统还可选择脉冲模式操作,该模式能够可靠地产生平均功率小于0.25瓦的极弱等离子体。


典型用户
用户单位 采购时间
深圳大学 2018-10-24
澳门大学 2017-08-10
大连化物所 2017-07-27
北京大学 2017-03-29
香港中文大学 2017-12-01
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PIE Scientific其他半导体检测仪Tergeo-EM的工作原理介绍

其他半导体检测仪Tergeo-EM的使用方法?

PIE ScientificTergeo-EM多少钱一台?

其他半导体检测仪Tergeo-EM可以检测什么?

其他半导体检测仪Tergeo-EM使用的注意事项?

PIE ScientificTergeo-EM的说明书有吗?

PIE Scientific其他半导体检测仪Tergeo-EM的操作规程有吗?

PIE Scientific其他半导体检测仪Tergeo-EM报价含票含运吗?

PIE ScientificTergeo-EM有现货吗?

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