面板级封装泛曝光系统
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OAI

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Model 6020

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美洲

  • 银牌
  • 第8年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数
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技术规格:Model 6020




式       真空接触          硬接触          软接触          渐近式接触(20μ)

分辨率                     20μ                             2.0-3.0μ                    3.0 - 5.0μ                  5.0μm


先进的光束光学技术


光束尺寸12" - 20" 方形

光源功率:1 Kw - 8 Kw

均匀:优于±3 5%

相机:400 万像素双CCD


OAI 的增强模式识别软件

对齐精度:.5μtopside 1.0μ with top to bottom optionalbackside

自动对齐:顶部到底部

         顶部


晶圆处

基板尺寸:12"----20"

掩膜尺寸:14"----24"

基板厚度:可达到1 mm薄片

         可达到5000μm

卡盘:可定制盘(选项)


找平


可用选项


外自动对焦

全光刻 SECS/Gem 软件的集成光刻机群


非接触式找平

典型用户
用户单位 采购时间
天津大学 2023-05-17
售后服务承诺

产品货期: 7天

整机质保期: 1年

培训服务: 安装调试现场免费培训

安装调试时间: 到货后7天内

电话支持响应时间: 2小时内

是否提供维保合同:

维修响应时间: 1天内

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