Transpector CPM 气体分析系统

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Transpector CPM

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产地

美洲

英福康（广州）真空仪器有限公司

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特征概览:

应用：

高压强真空系统（< 2个大气压）检漏，气体纯度，污染检测，工艺制程监控及刻蚀终点探测（Endpoint），涉及领域：材料，传统高压强真空系统，半导体，平板显示器及太阳能等行业PVD，CVD及刻蚀系统

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在线自动监测系统Transpector CPM的工作原理介绍

在线自动监测系统Transpector CPM的使用方法?

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