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- 用于监测复杂工艺制程四极质谱分析仪系统，检测范围：0-100，0-200和0-300amu
- 允许7天24小时连续监控，提高产品良率及产能，降低生产成本
- 紧凑型设计可安装于每个高压强真空系统
- HexBlock TM 取样系统使系统性能最佳化
- 内置压力传感器（CDG），用于工艺压强监测和提供联锁保护
- 备用可选的标准气体，用于调谐和校正
- 封闭式离子源可阻挡腐蚀性气体和反应性气体，并可检测ppm量级的污染物
- 重量轻，易搬运
应用：
- 高压强真空系统（< 2个大气压）检漏，气体纯度，污染检测，工艺制程监控及刻蚀终点探测 （Endpoint），涉及领域：材料，传统高压强真空系统，半导体，平板显示器及太阳能等行业PVD，CVD及刻蚀系统
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企业名称
英福康(广州)真空仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(外国法人独资)
信用代码
914401016186116122
成立日期
1990-06-18
注册资本
壹仟贰佰肆拾捌万柒仟肆佰肆拾贰元(人
经营范围
批发业(具体经营项目请登录广州市商事主体信息公示平台查询,网址:http://cri.gz.gov.cn/.涉及国家规定实施准人特别管理措施的外商投资企业,经营范围以审批机关核定的为准;依法需经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动.)
英福康（广州）真空仪器有限公司
公司地址
上海市长宁区遵义南路88号协泰中心大厦1806室
客服电话
公司名称： 英福康（广州）真空仪器有限公司
公司地址： 上海市长宁区遵义南路88号协泰中心大厦1806室 联系人： 赵凡非 邮编： 200336 联系电话： 400-803-0155
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