SKY® 电 容 膜 片 真 空 计
CDG100D
INFICON SKY CDG100D 真空计是高精度总压强测量和控制的最佳选择. 为达到优异的半导体和等离子
过程要求的性能, 将 CDG100D 真空计的温度控制于100°C. 全量程范围从100 毫乇 至 1000 乇, 配有全
部常用的法兰型式和 fieldbus 接口, 和提供线性的 0 至 10 伏与气体类型无关的压强讯号. INFICON 电容
真空计采用超纯抗腐蚀的氧化铝陶瓷膜片. 陶瓷传感器的优点是讯号稳定性好, 从大气压恢复快, 预热时
间短和超长的使用寿命. INFICON CDG 是高质量, 成本效益好的压强传感器, 用于半导体, 等离子和各项
要求高的真空应用中.
优点
■ 低 CoO (拥有成本), 50% 快速预热, 能效高, 功耗低
■ 易整合于系统中, 宽量程范围, 法兰和接口, 标准型号带有两个设点
■ 简易的一键操作或遥控讯号调零指令, 零点偏离可调
■ 诊断端口用于快速检修和维护
■ 两年保用期, 采用先进的加热概念和传感器保护, 真空计使用寿命长
■ 由于卓越的讯号稳定性和可重复性, 即使在严酷的等离子应用条件下仍可长期使用,
无需重新校准
■ 承诺和标准: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
用途
■ 刻蚀, PVD, CVD和其它半导体生产过程
■ 化学和腐蚀性高温过程
■ 需要真空计保护的常用薄膜和真空过程
