Quantus LP100 低压气体光谱分析仪

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型号

Quantus LP100

荣誉奖项

产地

美洲

英福康（广州）真空仪器有限公司

金牌
第12年
一般经销商

营业执照已审核

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核心参数

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特征概览:

等离子体频率400M Hz, 光波长范围：190-890 纳米
易更换等离子体组件，低的运行维护费
KF25 标准连接口
良好的探测精度至ppm级
宽工作压力范围：10毫乇至1乇，无需泵组
快速采样频率24赫兹
小巧，易安装

应用：

用于半导体，平板显示器及太阳能等行业PVD，CVD及刻蚀腔体检漏，气体组份比率及等离子体刻蚀终点探测（Endpoint）。

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