单酸碱化学品液体颗粒计数器

为什么要对电子级硫酸进行颗粒管控：电子级硫酸的纯度和洁净度对电子元的件成品率、电性能及可靠性有着重要 的影响。电子级硫酸是芯片制造工艺中用量最大的电子化学品，主要用于去除晶圆片上残留的金属和有机物杂质，质量要求高，产品中金属离子须达到 ppt 级目前，我国电子级硫酸产品完全依赖德国 BASF 等外企进口，严重制约我国芯片产业发展，是主要“卡脖子”产品之一。近两年，我国电子级硫酸制备技术取得突破，产品质量显著提高，电子级硫 酸产品中金属离子浓度均小于 10ppt，超越了国际 SEMI-C12（金属离子<100ppt） 级别，与国际电子化学品供应量最大、品质最好的巴斯夫电子级硫酸品质处同一级（金属离子

检测仪器：液体颗粒计数器，采用光散射法原理。当磷酸里的悬浮粒子通过流通池，激光光束照射到粒子上，经由处理器将收集到的信息转化为粒径大小和数量的信号。进行输出，通过粒子大小和浓度来判定磷酸的电子级等级属于哪个级别。

粒径大小检测：液体颗粒计数器通过光学阻法，对样品中的粒子进行粒径大小的测量。在这一步中，我们关注1um以上的粒子，记录其数量和分布情况。

数据处理与分析 1. 数据收集：启动液体颗粒计数器，将稀释后的样品注入计数器，记录粒径分布数据。 2. 数据处理：使用专业软件对收集到的数据进行处理，计算粒径的平均值、中位数、众数等统计参数。

粒径数量检测：通过液体颗粒计数器的计数功能，统计不同粒径范围内粒子的数量。这有助于了解溶液中固态粒子的整体分布情况。 数据分析：将检测到的数据导入计算机，利用专业软件进行分析。可以绘制粒径分布图、数量统计表等，以便更直观地了解氢氧化钠溶液中固态粒子的特性。

检测仪器：电子级光刻胶的级别判定有线宽、金属杂质、颗粒数和大小，4个指标。其中颗粒检测用的是液体颗粒计数器。采用光散射法的原理来对光刻胶里的粒子大小和多少进行检测。通常会检测0.1um、0.2um、0.3um、0.5um这4个粒径值。 普洛帝测控PMT-2 光刻胶液体颗粒计数器，可以测高粘度和低粘度的光刻胶。在光刻胶行业里有一定的应用。

PMT-2 液体颗粒计数器：是普洛帝测控独立研发、生产、销售、售后的颗粒管控仪器。防腐型主要应用于电子湿化学品的单酸碱、混合溶液、溶剂类的高纯试剂的颗粒度检测。通过颗粒的大小和数量的多少来判定电子级湿化学品的等级。

PMT-2 液体颗粒计数器：是普洛帝测控独立研发、生产、销售、售后的颗粒管控仪器。防腐型主要应用于电子湿化学品的单酸碱、混合溶液、溶剂类的高纯试剂的颗粒度检测。通过颗粒的大小和数量的多少来判定电子级湿化学品的等级。

看检测结果里的积分值，看≥0.1的粒子数量，≥0.2的粒子数量，≥0.5的粒子数量。参照数量的个数来判定所测样品达到那个级别的。 应用：化学品生产商一般在实验室使用离线取样检测的方式。抽取产线上数个液样，按照批次来进行检测。反应所生产液样的工艺是否达标。

湿电子化学品的金属杂质含量越低、颗粒度越小，越是可以应用于更为先进的晶圆制程工艺。所以湿电子化学品的核心指标就是“纯净度”。液体颗粒计数器来判定湿化学品的纯度等级，以便对应的企业采购对应级别的产品。

判定依据：超纯水是经过多次滤除，水里固态粒子都是≤0.5um的粒子。根据GB/T11446电子级超纯水中国国家标准来详细判定是多少兆欧的超纯水。

检测仪器：PLD-601 不溶性微粒检查仪：满足2020版《中国药典》、《美国药典》及输液器具GB8368等国家标准的规定，设有多种标准的专用检测程序，可直接检测注射液、无菌粉末及输液器具中不溶性微粒的大小及数量。 检测液样：丹红注射液