2024/04/02 08:57
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方案摘要:
产品配置单:
湿电子化学品液体粒子计数仪
型号: PMT-2SD
产地: 陕西
品牌: 普洛帝
¥54万
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单酸碱化学品液体颗粒计数器
型号: PMT-2SH
产地: 陕西
品牌: 普洛帝
¥54万
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半导体化学品液体颗粒计数器
型号: PMT-2BD
产地: 陕西
品牌: 普洛帝
¥54万
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普洛帝PULUODY颗粒计数器高纯试剂液体颗粒计数器PMT-2GC
型号: PMT-2GC
产地: 陕西
品牌: 普洛帝
¥54万
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电子级取样瓶、PFA取样瓶、PP取样瓶、电子级超纯水取样瓶、电子级化学品取样瓶
型号:
产地:
品牌: 普洛帝
¥2100
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高清洁清洗剂0级
型号:
产地:
品牌: 普洛帝
¥280
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高清洁清洗剂0级
型号: 500ml
产地:
品牌: 普洛帝
¥280
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方案详情:
液体颗粒计数器判定电子级硫酸等级的应用
1、电子级硫酸作用:强酸性清洗、腐蚀剂,在集成电路制程应用最多。
2、电子级硫酸判定指标:金属杂质、控制粒径、颗粒数、IC线宽;
3、检测仪器:四个判定指标中粒径的大小和数量的多少用液体颗粒计数器来检测。
4、仪器原理:液体颗粒计数采用光散射原理,当粒子通过光敏感区的时候发生散射,利用散射光采集装置收集粒子散射光强,并通过处理电路进行波形调整,最后用单片机来处理采集到的数据。
5、PMT-2 液体颗粒计数器:是普洛帝测控独立研发、生产、销售、售后的颗粒管控仪器。防腐型主要应用于电子湿化学品的单酸碱、混合溶液、溶剂类的高纯试剂的颗粒度检测。通过颗粒的大小和数量的多少来判定电子级湿化学品的等级。
6、检测过程:用PMT-2 液体颗粒计数器,检测4种不同纯度的电子级硫酸。检测数据备用。
7、电子化学品SEMI国际标准等级表
等级 | IC线宽 | 金属杂质 | 控制粒径 | 颗粒(个/mL) | 应用 |
C1(G1) | >1.2 | ≤1000(1ppm) | ≤1.0 | ≤25 | 分立器件、太阳能电池 |
C7(G2) | 0.8~1.2 | ≤10(10ppb) | ≤0.5 | ≤25 | 显示面板 |
C8(G3) | 0.2~0.6 | ≤1.0(1ppb) | ≤0.5 | ≤3 | 大规模集成电源(IC)、 超高清LCD、OLED显示面板 |
C12(G4) | 0.09~0.2 | ≤0.1(0.1ppb) | ≤0.2 | 超大规模集成电路(IC)、超高清LCD、OLED显示面板 | |
(G5) | <0.09 | ≤0.01 | 双方协商 | 双方协商 | 超大规模集成电路(IC) |
对照此表格,看您的电子级硫酸的等级,将对应等级的电子级硫酸应用到不同领域。
8、注意事项:
仪器放置到十级清洁台内,减少空气中大颗粒进入液样造成的二次污染。
在使用前应对仪器进行校准,以确保检测结果的准确性。
避免交叉污染:清洗容器,避免容器壁上的颗粒进入检测液样。
操作人员要穿戴洁净工作服,戴洁净手套、口罩进行整个测样过程。
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