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液体颗粒计数器判定电子级硫酸等级的应用

2024/04/02 08:57

阅读:27

分享:
应用领域:
石油/化工
发布时间:
2024/04/02
检测样品:
检测项目:
化学品里固态粒子大小和数量多少的检测
浏览次数:
27
下载次数:
参考标准:
ISO21501-2

方案摘要:

PMT-2 液体颗粒计数器:是普洛帝测控独立研发、生产、销售、售后的颗粒管控仪器。防腐型主要应用于电子湿化学品的单酸碱、混合溶液、溶剂类的高纯试剂的颗粒度检测。通过颗粒的大小和数量的多少来判定电子级湿化学品的等级。

产品配置单:

前处理设备

湿电子化学品液体粒子计数仪

型号: PMT-2SD

产地: 陕西

品牌: 普洛帝

¥54万

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分析仪器

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设备配件

高清洁清洗剂0级

型号:

产地:

品牌: 普洛帝

¥280

参考报价

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所需试剂

高清洁清洗剂0级

型号: 500ml

产地:

品牌: 普洛帝

¥280

参考报价

联系电话

方案详情:

液体颗粒计数器判定电子级硫酸等级的应用

1、电子级硫酸作用:强酸性清洗、腐蚀剂,在集成电路制程应用最多。

2、电子级硫酸判定指标:金属杂质、控制粒径、颗粒数、IC线宽;

3、检测仪器:四个判定指标中粒径的大小和数量的多少用液体颗粒计数器来检测。

4、仪器原理:液体颗粒计数采用光散射原理,当粒子通过光敏感区的时候发生散射,利用散射光采集装置收集粒子散射光强,并通过处理电路进行波形调整,最后用单片机来处理采集到的数据。

5、PMT-2 液体颗粒计数器:是普洛帝测控独立研发、生产、销售、售后的颗粒管控仪器。防腐型主要应用于电子湿化学品的单酸碱、混合溶液、溶剂类的高纯试剂的颗粒度检测。通过颗粒的大小和数量的多少来判定电子级湿化学品的等级。

6、检测过程:用PMT-2 液体颗粒计数器,检测4种不同纯度的电子级硫酸。检测数据备用。

7、电子化学品SEMI国际标准等级表

等级

IC线宽

金属杂质

控制粒径

颗粒(个/mL)

应用

C1(G1)

1.2

≤1000(1ppm)

≤1.0

≤25

分立器件、太阳能电池

C7(G2)

0.8~1.2

≤10(10ppb)

≤0.5

≤25

显示面板

C8(G3)

0.2~0.6

≤1.0(1ppb)

≤0.5

≤3

大规模集成电源(IC)、

超高清LCD、OLED显示面板

C12(G4)

0.09~0.2

≤0.1(0.1ppb)

≤0.2


超大规模集成电路(IC)、超高清LCD、OLED显示面板

G5)

0.09

≤0.01

双方协商

双方协商

超大规模集成电路(IC)

对照此表格,看您的电子级硫酸的等级,将对应等级的电子级硫酸应用到不同领域。

8、注意事项:

仪器放置到十级清洁台内,减少空气中大颗粒进入液样造成的二次污染。

在使用前应对仪器进行校准,以确保检测结果的准确性。
避免交叉污染:清洗容器,避免容器壁上的颗粒进入检测液样。

操作人员要穿戴洁净工作服,戴洁净手套、口罩进行整个测样过程。

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