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MDPspot少子寿命测试仪

产地: 德国
型号: MDPspot少子寿命测试仪
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产品介绍

MDPspot W

包括一个额外的电阻率测量选项。测量硅的电阻率,可用于没有高度调节可能性的晶圆,或晶砖。必须预先定义这两个选项中的一个。

       

         

             

       

特点:        

◇  无接触无破坏的电学半导体特性        

◇  包括μ-PCD测量选项        

◇  对迄今为止看不见的缺陷的可视化和外延层的研究具有先进的灵敏度        

◇  集成多达四个激光器,用于宽的注入水平范围

◇  获取单次瞬变的原始数据以及用于特殊评估目的的地图         


   

技术规格:   

     

单晶或多晶片、晶砖、电池、硅片、钝化或扩散等不同生产步骤后的晶片

样品尺寸

50 x 50 mm² 以上到 12“ 或 210 x 210 mm²

电阻率

0.2 - 10³Ω·cm

材料

晶片、晶砖、部分或完全加工的硅片、化合物半导体等

测量参数

载流子寿命

尺寸

360 x 360 x 520 mm, 重量: 16 kg

电力

110/220 V, 50/60 Hz, 3 A


        

      

优点:        

◇  台式装置,用于载流子寿命的单点测量,多晶硅或单晶硅在不同的制备阶段,从原生材料到器件        

◇  体积小,成本低,使用方便。附带一个基本的软件,用于在小型PC或笔记本上进行结果可视化。        

◇  适用于硅片到砖,操作高度调节方便。

       

细节:        

◇  允许单晶圆片调查        

◇  不同的晶圆级有不同的配方        

◇  监控物料、工艺质量和稳定性      


附加选项:

◇  光斑大小变化

◇  电阻率测量(晶片)

◇  背景/偏置光

◇  反射测量(MDP)

◇  软件扩展

◇  额外的激光器选配


MDPspot 应用:

        

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工商信息

企业名称

束蕴仪器(上海)有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

310120003388984

成立日期

2016-09-23

注册资本

500

经营范围

仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、民用爆炸物品、易制毒化学品)、一般劳防用品、玻璃制品的批发、零售,从事仪表科技、机械科技、机电科技、电子科技领域内的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务,一类医疗器械、仪表仪器的维修,一类医疗器械批发、零售,自有设备租赁,设计、制作各类广告,电子商务(不得从事金融业务),从事货物及技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】

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