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罗姆(江苏)仪器有限公司
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解决方案
CMP浆料的快速稳定性研究
应用领域
地矿检测样品
其他检测项目
稳定性CMP抛光浆料（Chemical Mechanical Slurry），又称CMP浆料、抛光液、研磨液、研磨料，是CMP工艺的3大关键要素之一，其性能和相互匹配决定CMP能达到的表面平整水平。本文利用LUM加速型稳定性/分散体分析仪对两款不同配方的金刚石CMP浆料进行快速稳定性研究
共1台
