您好,欢迎访问仪器信息网
注册
迈可诺技术有限公司

关注

已关注

银牌8年 银牌

已认证

粉丝量 0

400-860-5168转3827

仪器信息网认证电话,请放心拨打

当前位置: 迈可诺 > 解决方案 > MC方案:实时监控由于环境光暴露引起的光刻胶膜的光谱灵敏度

MC方案:实时监控由于环境光暴露引起的光刻胶膜的光谱灵敏度

2020/03/09 17:17

阅读:352

分享:
应用领域:
电子/电气
发布时间:
2020/03/09
检测样品:
其他
检测项目:
实时监控由于环境光暴露引起的光刻胶膜的光谱灵敏度
浏览次数:
352
下载次数:
参考标准:
光致抗蚀剂、透射光谱、抗蚀剂膜厚度、曝光剂量

方案摘要:

通常,普通光刻胶的光谱灵敏度范围从DUV到光谱的短波VIS部分。 如果没有合适的黄色/橙色滤光片,人造光和日光都会在几秒钟内使涂有光刻胶层的基材曝光,从而使可重复的光刻工艺变得不可能。 在我们的研究中,研究了在显微镜玻璃上涂覆的?3μm厚的AZ5214光致抗蚀剂上的标准室内曝光量。

产品配置单:

前处理设备

进口纳米狭缝涂布机

型号: nRad

产地: 美国

品牌:

面议

参考报价

联系电话

原装进口高精密度热板/加热台/烤胶机

型号: HP 1000-1/HP 1000-3/ HP 1000 HT/ HP 1200

产地: 英国

品牌:

¥2万 - 5万

参考报价

联系电话

分析仪器

原装进口光学膜厚仪/薄膜测厚仪FR-pRo

型号: FR-pRo

产地: 希腊

品牌:

¥10万 - 20万

参考报价

联系电话

方案详情:

实时监控由于环境光暴露引起的光刻胶膜的光谱灵敏度

目标:准确监控环境光暴露导致的光致抗蚀剂膜的透射率变化。

通常,普通光刻胶的光谱灵敏度范围从DUV到光谱的短波VIS部分。 如果没有合适的黄色/橙色滤光片,人造光和日光都会在几秒钟内使涂有光刻胶层的基材曝光,从而使可重复的光刻工艺变得不可能。 在我们的研究中,研究了在显微镜玻璃上涂覆的〜3μm厚的AZ5214光致抗蚀剂上的标准室内曝光量。

使用橙色滤光片在“安全照明”条件下将光刻胶沉积在显微镜玻璃的顶部,然后存储在黑暗的容器中。 FR-pOrtable在370-1020nm的光谱范围内工作,能够支持透射率测量,可以在有环境光的房间开始测量。 从黑暗的容器中取出样品后,将其放在FR-pOrtable探针下,该探针可实时监测透射光谱。

结果:记录的测量结果汇总在一个中,该图说明了透射率数据与时间的关系(以秒为单位)。这些结果清楚地表明:a)从> 460nm光谱范围内的透射率调制,当考虑相关的折射率值时,可以测量AZ5214的厚度b)光刻胶膜对<430nm光谱范围呈现高吸收性,这是光刻上有用的光谱范围。测得的AZ5214膜厚为2.92um,与独立的测针轮廓测量法非常吻合。在标准实验室条件下,吸光度随时间的降低与AZ5214(主要是甲酚酚醛清漆和重氮萘醌(DNQ)的混合物)的化学性质相符。在短的曝光时间,光在距膜表面很短的距离处被吸收,但是随着曝光的进行,抗蚀剂膜的顶部开始漂白,即变成紫外线透明的,因此在继续曝光的同时,光能够穿透整个膜。结果,曝光的抗蚀剂膜厚度与曝光剂量大致成线性关系。

结论:通过使用FR-pOrtable成功地证明了通过环境光导致的光致抗蚀剂的透射率测量,可以对曝光/未曝光过渡进行准确的实时监控。 另外,通过相同的测量,还通过在低吸收光谱范围内应用干涉方程式来测量光致抗蚀剂膜的厚度。

FR的工具基于白光反射光谱(Reports) 。
准确同步的厚度测量及薄膜的折射率
-一个广泛的多样化的应用范围广泛的光电
特性的工具和整体解决方案,如:
半导体、有机电子、聚合物、涂料和涂料、
光伏、生物传感、化学传感...



下载本篇解决方案:

资料文件名:
资料大小
下载
ThetaMetrisisApplicationNote016-由于环境光照射而实时监测光刻胶膜的光谱灵敏度.jpg
1636KB
相关仪器

更多

原装进口高精密度热板/加热台/烤胶机

型号:HP 1000-1/HP 1000-3/ HP 1000 HT/ HP 1200

¥2万 - 5万

进口纳米狭缝涂布机

型号:nRad

面议

桌面微型紫外光刻机

型号:GK100

面议

相关方案

MC方案:汽车透明漆层厚度的测定

透明涂层的厚度均匀性(保护汽车漆层的层),是汽车最终表面质量的关键。因此,厚度测定是汽车喷漆过程中必须监测的一个重要参数。在本应用说明中,使用参数fr工具演示了二手车不同部位透明涂层厚度的测量。

汽车及零部件

2020/03/10

MC方案:评估生物分子层厚度

引入WLRS用于测量各层的厚度,评价生物分子固定在固体表面上的有效性及其与相应生物分子的后续反应。特别研究了兔(RgG)和小鼠γ-球蛋白(MgG)的吸附及其与互补抗体的反应。通过配备有0.35nm光学分辨率的VIS-NIR光谱仪和白光卤素灯的FR-Basic进行测量。基板是厚度约为1000nm的热生长SiO2薄膜的硅晶片。

半导体

2020/03/09

MC方案:用于MEMS应用的悬浮式活性硅膜厚度测量

硅基传感器因其高性能、低成本和小尺寸而广泛应用于不同的微机电系统。悬挂在图案化硅膜或基于硅绝缘体的传感器上的活性硅层的厚度确定对于最终平台[1]的性能控制至关重要。在这里,我们已经在一个微机电系统压力传感器上测量了这样的薄膜厚度,使用的是一个孔径为250μm的FR-μ探针工具,该工具安装在一个徕卡分模光学显微镜上。使用10X物镜进行测量,该物镜与选定的孔径大小一起对应于25μm的光斑大小(测量区域)。

半导体

2020/03/10

MC方案:薄和超薄金属薄膜的厚度测量

薄膜厚度对涂层的性能,特别是薄膜和超薄薄膜的性能至关重要。因此,采用非常精确和无损的方法来表征此类薄膜是非常重要的。薄膜厚度的光学测定方法具有非接触、无损、快速、准确、灵敏、重现性好等优点。在本应用说明中,我们使用FR工具测量金属薄膜和超薄薄膜的厚度。

半导体

2020/03/10

迈可诺技术有限公司

查看电话

沟通底价

提交后,商家将派代表为您专人服务

获取验证码

{{maxedution}}s后重新发送

获取多家报价,选型效率提升30%
提交留言
点击提交代表您同意 《用户服务协议》 《隐私政策》 且同意关注厂商展位
联系方式:

公司名称: 迈可诺技术有限公司

公司地址: 武汉市洪山区 联系人: 杨洋 邮编: 210000 联系电话: 400-860-5168转3827

友情链接:

仪器信息网APP

展位手机站