2020/03/09 17:32
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方案摘要:
产品配置单:
进口纳米狭缝涂布机
型号: nRad
产地: 美国
品牌:
面议
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FR-uProbe微米级薄膜表征
型号: FFR-uProbe
产地: 未知
品牌:
¥5万 - 10万
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钙钛矿太阳能电池Laurell匀胶机
型号: WS-650Mz-23N
产地: 美国
品牌: 劳瑞恩
¥1
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方案详情:
光刻胶显影薄膜监测
介绍:为了优化半导体和光子器件的图形制作工艺,对光刻胶溶解过程的表征进行了不断的研究。溶出度的实时监测可为此类表征提供必要的信息。在本应用中,通过使用FR-Pro VIS/NIR和FR液体附件,对标准显影剂(AZ726MIF)中的抗蚀剂(AR-N7520.18)薄膜的溶解过程进行实时监控。
方法:研究样品为涂有AR-N7520.18抗蚀剂薄膜的硅片。AR-N 7520是一种商用高分辨率全电阻负电子束抗蚀剂。为了避免在表征过程中暴露在抗蚀剂薄膜和FR液体试剂盒中,通过在>400nm光谱范围内工作的FR-Pro VIS/NIR进行表征。FR液体是一种附件,用于实时监测液体中处理过程薄膜/厚膜的厚度和光学常数(n&k)的变化,例如膨胀或溶解。它由一个聚四氟乙烯(Teflon)单元和一个支架组成,以容纳被测样品。聚四氟乙烯(PTFE)由于其疏水性、耐化学性和耐热性等特性,使其适用于FR液体的广泛应用。带有光学窗口设计,方便使用FR基本工具进行光学测量。
结果:记录的反射光谱与拟合的反射光谱一起显示。环境设置为显影剂属性,反射探头安装在容器外部,拟合非常好。反射探头与液体的非接触测试,因此允许使用任何显影剂。同时,反射探头的水平安装和被测样品的垂直方向允许样品快速插入显影剂并记录高强度干扰极值。
对于非常薄的层,建议使用具有足够光学厚度的介电层的衬底硅晶片,例如>500nm的二氧化硅。说明了非腐蚀区抗蚀剂膜厚度的变化。同样的结果也可以记录其他透明或半透明的聚合物涂层上。
FR的工具基于白光反射光谱(Reports) 。
准确同步的厚度测量及薄膜的折射率
-一个广泛的多样化的应用范围广泛的光电
特性的工具和整体解决方案,如:
半导体、有机电子、聚合物、涂料和涂料、
光伏、生物传感、化学传感...
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MC方案:汽车透明漆层厚度的测定
透明涂层的厚度均匀性(保护汽车漆层的层),是汽车最终表面质量的关键。因此,厚度测定是汽车喷漆过程中必须监测的一个重要参数。在本应用说明中,使用参数fr工具演示了二手车不同部位透明涂层厚度的测量。
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